[实用新型]近场平面扫描架以及近场平面扫描系统

权利要求书

1.一种近场平面扫描架，其特征在于，包括：

第一支架；

装设于所述第一支架上可沿X轴方向直线移动的第一直线移动机构；

装设于所述第一直线移动机构上的可沿Y轴方向直线移动的第二直线移动机构；

装设于所述第二直线移动机构上的可沿Z轴方向直线移动的第三直线移动机构；

以及装设于所述第三直线移动机构上的可以在竖直平面内周向转动的、用于搭载测试部的转动机构；

其中，所述第一直线移动机构、所述第二直线移动机构、所述第三直线移动机构以及所述转动机构可以单独工作或者任意结合地同时工作。

2.根据权利要求1所述的近场平面扫描架，其特征在于：

所述第一直线移动机构包括转动连接于所述第一支架上且沿X轴方向延伸的第一滚珠丝杠、套接于所述第一滚珠丝杠上的第一螺母滑块、与所述第一滚珠丝杠联动的第一伺服电机以及支撑固定于所述第一螺母滑块上的第一支撑板，所述第一支架上沿X轴方向延伸形成有第一导轨，所述第一支撑板底部设有与所述第一导轨配合的第一滑槽。

3.根据权利要求2所述的近场平面扫描架，其特征在于：

所述第二直线移动机构包括转动连接于所述第一支撑板上且沿Y轴方向延伸的第二滚珠丝杠、套接于所述第二滚珠丝杠上的第二螺母滑块、与所述第二滚珠丝杠联动的第二伺服电机以及支撑固定于所述第二螺母滑块上的第二支撑板，所述第一支撑板上沿Y轴方向延伸形成有第二导轨，所述第二支撑板底部设有与所述第二导轨配合的第二滑槽。

4.根据权利要求3所述的近场平面扫描架，其特征在于：

所述第三直线移动机构包括装设于所述第二支撑板上的第二支架、转动连接于所述第二支架上且沿Z轴方向延伸的第三滚珠丝杠、套接于所述第三滚珠丝杠上的第三螺母滑块、与所述第三滚珠丝杠联动的第三伺服电机以及支撑固定于所述第三螺母滑块上的第三支撑板，所述第三支架上沿Z 轴方向延伸形成有第三导轨，所述第三支撑板底部设有与所述第三导轨配合的第三滑槽。

5.根据权利要求4所述的近场平面扫描架，其特征在于：

所述转动机构包括装设于所述第三支撑板上的第四伺服电机以及装设于所述第四伺服电机输出轴的安装所述测试部的安装盘。

6.根据权利要求1～5任一项所述的近场平面扫描架，其特征在于：

所述第一、第二及第三直线移动机构的位移定位精度小于0.05mm, 扫描速度为0.25mm/s；

所述转动机构的极化轴的转动范围为0°～360°, 定位精度小于0.01°, 最高转速为3°/s，所述转动机构的极化轴的转动角度采用20位绝对值编码器定位。

7.根据权利要求1所述的近场平面扫描架，其特征在于：

所述第三直线移动机构可拆卸地连接固定于所述第二直线移动机构上。

8.根据权利要求1所述的近场平面扫描架，其特征在于：

所述第一支架底部装设有便于移动的可拆卸的脚轮和用于调平的可拆卸的支撑脚；

所述转动机构上还装设有用于对准待测对象物的光学部件。

9.一种近场平面扫描系统，其特征在于，包括如权利要求1～8任一项所述的近场平面扫描架，其中：

所述近场平面扫描架中的转动机构上搭载有测试部。

10.根据权利要求9所述的近场平面扫描系统，其特征在于：

所述近场平面扫描系统包括运动控制卡，所述近场平面扫描架中的第一、第二、第三直线移动机构以及转动机构中的电缆均通过航空插与所述运动控制卡电连接。