[实用新型]一种玻璃基板的止挡结构及蚀刻装置有效
申请号: | 201720701452.1 | 申请日: | 2017-06-16 |
公开(公告)号: | CN207067575U | 公开(公告)日: | 2018-03-02 |
发明(设计)人: | 胡蓉蓉 | 申请(专利权)人: | 昆山龙腾光电有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 215301 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 玻璃 结构 蚀刻 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及蚀刻技术领域,尤其涉及一种玻璃基板的止挡结构及蚀刻装置。
背景技术
液晶显示面板,具有零辐射,低耗能,散热小等众多优点,得到了广泛的应用。薄膜晶体管液晶显示器一般包括壳体、设于壳体内的显示面板和背光模组。液晶显示面板的工作原理是在两片平行的玻璃基板当中放置液晶分子,通过玻璃基板通电与否来控制液晶分子改变方向,将背光模组的光线折射出来产生画面。
上述液晶显示面板在制程中一般包括:前段阵列制程、中段成盒制程、及后段模组组装制程,其中,前段阵列制程又包括:玻璃基板的清洗与干燥、镀膜、涂光刻胶、曝光、显影、蚀刻、去除光刻胶等制程。
随着科技的发展以及用户的需求,超薄型液晶显示面板的需求日渐增加。其中,在前段阵列制程中,主要是薄化玻璃基板。在薄化玻璃基板的同时,需要进行薄化工艺的玻璃基板尺寸也不断增加,G5玻璃基板的尺寸相较于G4玻璃基板的尺寸由730mm×920mm增加到了1200mm×1300mm。如图1所示,薄化后的大尺寸玻璃基板100'在蚀刻的过程中,需要将玻璃基板100'直立放置,如此放置的大尺寸玻璃基板100'在蚀刻过程中容易发生弯曲变形,相邻两片弯曲变形的玻璃基板100'贴合到一起后,贴合部位易产生蚀刻不均,甚至导致破片的产生。目前为解决此问题只能将相邻两片玻璃基板的间隔变大,导致蚀刻装置内放置玻璃基板100'数量变少,蚀刻效率低,影响产能。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提出一种玻璃基板的止挡结构及蚀刻装置,解决了现有玻璃基板容易变形造成蚀刻不均,蚀刻效率低的问题。
为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:
一种玻璃基板的止挡结构,所述止挡结构设置于蚀刻装置上的相邻玻璃基板之间,所述止挡结构包括止挡部和连接部,所述连接部的两端与蚀刻装置连接,所述止挡部设置于所述连接部上。
优选地,所述止挡结构的宽度等于相邻玻璃基板之间的距离。
优选地,所述止挡部为圆柱状结构,所述止挡部沿轴线方向设置通孔,所述连接部穿过所述通孔设置。
优选地,所述通孔的直径等于所述连接部的外径。
优选地,所述连接部上至少设置一个所述止挡部。
优选地,多个所述止挡部沿所述连接部长度方向等间隔设置。
优选地,相邻两个玻璃基板之间设置至少两个所述止挡结构。
优选地,至少两个所述止挡结构由上而下间隔设置。
优选地,其特征在于,所述止挡结构由耐酸性材料制备而成。
一种玻璃基板蚀刻装置,包括上述的止挡结构。
本实用新型的有益效果:
本实用新型提出一种玻璃基板的止挡结构及蚀刻装置,玻璃基板的止挡结构,设置于蚀刻装置的相邻玻璃基板之间,用于防止玻璃基板变形,使得竖直放置的玻璃基板由于止挡结构的止挡作用不容易发生变形,有效防止相邻两片玻璃贴合到一起后,贴合部位产生蚀刻不均的现象出现;同时无需通过增加相邻玻璃基板之间的距离,来防止玻璃基板变形造成的蚀刻不均问题,提高了蚀 刻玻璃基板的效率。
附图说明
图1是现有技术中的蚀刻装置中的直立放置的玻璃基板的结构示意图;
图2是本实用新型具体实施方式提供的蚀刻装置中玻璃基板之间设置止挡结构的示意图;
图3是本实用新型具体实施方式提供的相邻两玻璃基板之间的止挡结构的示意图;
图4是本实用新型具体实施方式提供的止挡部的结构示意图;
图5是本实用新型具体实施方式提供的蚀刻装置中相邻两玻璃基板之间的止挡结构设置有多个止挡部的结构示意图;
图6是本实用新型具体实施方式提供的相邻两玻璃基板之间的设置多个止挡结构的示意图;
图7是本实用新型具体实施方式提供的蚀刻装置中玻璃基板之间设置多个止挡结构的主视图。
其中,100'、玻璃基板;100、玻璃基板;
1、止挡结构;11、止挡部;12、连接部;111、通孔。
具体实施方式
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
本实施方式保护一种玻璃基板的止挡结构1,如图2-6所示,止挡结构1设置于蚀刻装置上的相邻玻璃基板100之间,止挡结构1的宽度等于相邻两玻璃基板100之间的距离,用于防止玻璃基板100变形。
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