[实用新型]晶体硅太阳能电池的退火装置

权利要求书

1.晶体硅太阳能电池的退火装置，其特征在于，包括：

腔体(1)，所述腔体(1)与外部的真空装置及惰性气体装置连接，以提供真空及惰性气体环境；及

置于所述腔体(1)内部的注入机构(10)，所述注入机构(10)包括上下设置的上平台(7)、下平台(8)及支撑于两者之间的导轨(9)，所述上平台(7)和所述下平台(8)中至少有一个能够沿着所述导轨(9)滑动，以调整两者之间的间距，

所述上平台(7)和所述下平台(8)的相对的表面均设置有冷却平台(3)，所述冷却平台(3)的表面设置有能够与其分离以绝热或闭合以传热的加热电极(2)，所述冷却平台(3)与所述加热电极(2)之间设置有绝缘垫层(4)，所述加热电极(2)连接外部电源(11)，

所述真空装置及惰性气体装置、所述冷却平台(3)连接控制系统。

2.根据权利要求1所述的退火装置，其特征在于，所述上平台(7)和所述下平台(8)中的能够沿着所述导轨(9)滑动的平台连接有第一传动装置(5)，以驱动该平台滑动。

3.根据权利要求2所述的退火装置，其特征在于，所述上平台(7)和所述下平台(8)均连接有第二传动装置(6)，所述第二传动装置(6)能够使得所述冷却平台(3)和所述加热电极(2)分离或闭合；

所述第二传动装置(6)为间隔气阀。

4.根据权利要求3所述的退火装置，其特征在于，所述第一传动装置(5)和所述第二传动装置(6)均为能够实现压力设定的行程气缸或液压系统，所述第一传动装置(5)和所述第二传动装置(6)均与所述控制系统连接。

5.根据权利要求1-4任一项所述的退火装置，其特征在于，所述电源(11)输出的是恒定直流电压，该电压的调节范围为0-1000V；或

所述电源(11)输出的是恒定直流电流，该电流的调节范围是0-20A。

6.根据权利要求1-4任一项所述的退火装置，其特征在于，所述加热电极(2)的内部设置有加热单元和用于温度反馈的测温单元，

所述加热单元为电阻丝或加热陶瓷，所述加热电极(2)为不锈钢、铜或铝材质的电极，所述加热电极(2)的加热温度范围为室温-450℃；

所述测温单元为K、S、E或B型热电偶，所述加热单元、所述测温单元连接所述控制系统。

7.根据权利要求1-4任一项所述的退火装置，其特征在于，所述冷却平台(3)的内部设置有冷却管道，所述冷却管道内部有循环流动的冷却介质，用以持续散热；

所述冷却介质为空气、水或油。

8.根据权利要求1-4任一项所述的退火装置，其特征在于，所述绝缘垫层(4)为热导率高且绝缘的垫层，所述绝缘垫层(4)为绝缘陶瓷。

9.根据权利要求1-4任一项所述的退火装置，其特征在于，所述惰性气体为氮气、氩气或氦气。

10.根据权利要求1-4任一项所述的退火装置，其特征在于，所述注入机构(10)为至少两个，至少两个所述注入机构(10)串联连接。