[实用新型]一种能充分利用显影液的新型自动显影机有效
| 申请号： | 201720708543.8 | 申请日： | 2017-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN206863477U | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | 王成森;沈广宇;薛治祥;沈怡东;王琳 | 申请（专利权）人： | 捷捷半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司32243 | 代理人： | 卢海洋 |
| 地址： | 226200 江苏省南通市苏通科技产*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 充分利用 显影液 新型 自动 显影 | ||
1.一种能充分利用显影液的新型自动显影机，包括上部和下部；所述上部包括设备外壳（19），所述设备外壳（19）顶部设有轴流风机与消防活门（18），所述轴流风机与消防活门（18）旁边设有烟雾传感器（16）和温度测控仪（17），所述设备外壳（19）内设有悬挂臂旋转盘（1），所述悬挂臂旋转盘（1）两端设有悬挂臂（10）与硅片挂架（26）；所述悬挂臂旋转盘(1)与平面轴承(2)和旋转轴（15）连接，所述平面轴承（2）下端设有齿轮副（3），所述齿轮副（3）下端设有旋转步进电机（4）；所述平面轴承（2）与上下移动机架（5）连接，所述上下移动机架（5）通过燕尾滚珠滑道（7）安装于固定机架（6）上；所述上下移动机架（5）下端设有滚珠螺母（8），所述滚珠螺母（8）通过精密丝杠（9）和上下移动步进电机（11）连接；所述固定机架（6）设于固定工作台（13）上，所述固定工作台（13）上设有光幕传感器（12）和对应下部显影缸（20）的显影缸连接口（14）；所述下部：包括显影缸承载圆盘（21）连接显影缸（20），所述显影缸（20）上刻有换液位置（25）；所述显影缸承载圆盘（21）与平面轴承（2）和转轴（22）连接，所述平面轴承（2）和转轴（22）与设备结构安装盘（23）连接，所述设备结构安装盘（23）与齿轮副（3）连接，所述齿轮副（3）与步进电机（24）连接。
2.根据权利要求1所述的一种能充分利用显影液的新型自动显影机，其特征在于：所述悬挂臂（10）设置为按一定角度步进旋转并作上下往复运动的复合运动的结构。
3.根据权利要求2所述的一种能充分利用显影液的新型自动显影机，其特征在于：所述悬挂臂10的上下往复运动设置成上慢下快的变速运动。
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