[实用新型]一种进气机构及预清洗腔室

权利要求书

1.一种进气机构，包括盖板和保护板，其中，在所述盖板中设置有进气通道，所述进气通道与气源连接；在所述盖板和所述保护板之间设置有缓冲腔；在所述保护板中设置有出气口；所述气源提供的工艺气体依次通过所述进气通道、所述缓冲腔和所述出气口进入工艺腔，其特征在于，

所述进气机构还包括阻挡件，所述阻挡件设置在所述缓冲腔内，并能够遮挡所述出气口，以阻挡自所述出气口进入所述缓冲腔的颗粒物到达所述盖板，防止所述盖板被污染。

2.根据权利要求1所述的进气机构，其特征在于，所述阻挡件包括板状本体，其中，

所述板状本体与所述盖板之间具有第一通道；

所述板状本体中具有第二通道，或在所述板状本体与所述缓冲腔的侧壁之间具有第二通道；

所述板状本体与所述保护板之间具有第三通道；

所述工艺气体依次通过所述进气通道、所述第一通道、所述第二通道、所述第三通道和所述出气口进入所述工艺腔。

3.根据权利要求2所述的进气机构，其特征在于，所述第一通道包括：

设置在所述板状本体上的第一凹部，和/或设置在所述盖板上的第二凹部；其中，

所述第一凹部和所述第二凹部分别设置于所述板状本体与所述盖板相对的表面上。

4.根据权利要求3所述的进气机构，其特征在于，所述板状本体中具有第二通道；

所述第二通道为沿所述板状本体厚度方向设置的通孔，且所述通孔偏离与所述出气口相对的位置。

5.根据权利要求4所述的进气机构，其特征在于，所述第三通道包括：

设置在所述板状本体上的第三凹部，和/或设置在所述保护板上的第四凹部；其中，

所述第三凹部和所述第四凹部分别设置于所述板状本体与所述保护板相对的表面上。

6.根据权利要求5所述的进气机构，其特征在于，

所述出气口与所述板状本体的中心对应；

所述通孔为多个，且多个所述通孔以所述板状本体的中心为圆心分布至少一圈。

7.根据权利要求6所述的进气机构，其特征在于，所述第三凹部包括多条凹道；其中，

多条所述凹道的一端汇聚在与所述出气口相对应的位置处；

多条所述凹道的另一端一一对应地延伸至与多个所述通孔对应的位置处，并与其对应的所述通孔连通。

8.根据权利要求1所述的进气机构，其特征在于，所述出气口为锥形通孔，所述锥形通孔的径向截面面积较大的一端朝向所述工艺腔。

9.根据权利要求1-8任一项所述的进气机构，其特征在于，在所述盖板和所述保护板之间包括多个所述缓冲腔和多个所述出气口，多个所述缓冲腔与多个所述出气口一一对应设置，且在每个缓冲腔中均设置有所述阻挡件。

10.一种预清洗腔室，包括腔体和设置于腔体壁上的进气机构，其特征在于，所述进气机构采用权利要求1-9任一所述的进气机构。