[实用新型]新型纳米压印机升降门调节机构有效

专利信息
申请号: 201720717423.4 申请日: 2017-06-20
公开(公告)号: CN207148521U 公开(公告)日: 2018-03-27
发明(设计)人: 朱博;李鹏飞 申请(专利权)人: 赛悟德半导体科技(上海)有限公司
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201207 上海市浦东新区自*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 新型 纳米 压印 升降 调节 机构
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及机械设备制造领域,特别涉及新型纳米压印机升降门调机构。

背景技术

纳米压印是一种全新的纳米图形复制方法,在纳米压印中,压印模具就是纳米压印的模板,凸凹结构的尺寸在纳米量级,将具有凸凹纳米结构的模板通过一定的压力压入高分子薄膜内并保压,通过加温冷却或紫外曝光等方法使纳米结构定型,之后移去模板,再通过其它工艺将纳米结构转移至半导体硅片上。目前市场上的纳米压印机设备结构布局中,升降门的升降都是由人手动操作来完成的,不仅增加了人力劳动,还很大程度上增加升降门升降过程中被人工造成的误差。

故急需一种操作方便、节约时间、由人工变为自动操作而大大提高工作效率的新型纳米压印机升降门调节结构。

实用新型内容

鉴于以上问题,本实用新型提供了一种操作方便、节约时间、由人工变为自动操作而大大提高工作效率的新型纳米压印机升降门调节结构。

为了实现上述实用新型目的,本实用新型提供以下技术方案:本实用新型中,新型纳米压印机升降门调机构,包括步进电机、升降门、控制台、导轨、滑轮、丝杠和过滤风扇,所述步进电机设在丝杠的最上端,为整个升降机构提供动力,所述升降门右侧与丝杠连接,所述升降门左侧固定在导轨上,所述控制台设于纳米压印机的右侧,用来控制电机的工作,所述导轨设于纳米压印机的左侧,所述滑轮设在导轨上,所述滑轮与丝杠连接。

所述升降门左侧通过安装连接件固定在导轨上。

所述安装连接件通过螺栓固定在导轨上。

所述导轨上至少设置2个安装连接件。

所述过滤风扇设于纳米压印机的顶部。

所述过滤风扇的上方安装过滤网,进行空气过滤。

本实用新型的优点和有益效果在于:提供一种操作方便、节约时间、由人工变为自动操作而大大提高工作效率的新型纳米压印机升降门调节结构。通过丝杠、导轨和滑轮的协同作用,步进电机提供机构的动力和控制台发出任务指令,使升降门完成上升和下降运动。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为纳米压印机主视图。

图2为纳米压印机B-B剖面图。

图3为纳米压印机A-A剖面图。

图4为纳米压印机俯视图。

附图标记说明

1.步进电机 2.升降门 21.安装连接件 3.控制台

4.导轨 5.滑轮 6.丝杠 7.过滤风扇

具体实施方式

下面结合附图和实施例,对本实用新型的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案,而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

新型纳米压印机升降门调机构,综合图1、2和3所示,其包括步进电机1、升降门2、控制台3、导轨4、滑轮5、丝杠6和过滤风扇7,步进电机1设在丝杠6的最上端,为整个升降机构提供动力,升降门2右侧与丝杠6连接,升降门2左侧固定在导轨4上,控制台3设于纳米压印机的右侧,用来控制电机的工作,导轨4设于纳米压印机的左侧,滑轮5设在导轨4上,滑轮5与丝杠6连接。

升降门2左侧通过安装连接件21固定在导轨4上。安装连接件21通过螺栓固定在导轨4上。

导轨4上至少设置2个安装连接件21。

过滤风扇7设于纳米压印机的顶部。过滤风扇7的上方安装过滤网,进行空气过滤。

本实用新型产品的工作原理:启动按钮后,通过控制台3控制电机1正转,此时丝杠6上升,带动升降门2上升;若控制台2控制电机1反转,丝杠6下降,带动升降门2下降。同时,左侧的滑轮5跟随着丝杠6同时上下移动,由此达到控制升降门2的目的。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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