[实用新型]一种液晶显示器光刻胶成膜的装置

说明书

技术领域

本实用新型属于液晶显示器制造技术领域，具体涉及一种液晶显示器制造光刻工艺过程中的光刻胶成膜装置及方法。

背景技术

近些年液晶显示器件快速发展，在液晶显示器件制造工艺过程中，需要在多个工序中多次使用光刻工艺制造器件图形，光刻工艺主要包含光刻胶成膜、前烘烤、曝光、显影、坚膜、蚀刻、去膜、图检和清洗干燥等一系列过程。

目前液晶显示面板光刻胶成膜，主要采用转印轮进行辊涂的方法，该方法适合较大面积玻璃基板，连续性较好，生产效率较高，但是对于单次成膜操作，辊涂法存在操作复杂、玻璃基板尺寸固定、光刻胶用量较大、成本高以及光刻胶成膜不具备选择性等问题。除了企业需要连续性重复性生产过程，在各类液晶显示器件工艺性能研究、实验或者教学演示过程中，要求是光刻胶成膜过程具备间歇性、操作弹性大、参数变化较大等特点。

实用新型内容

有鉴于此，本专利提供一种液晶显示器件间歇式光刻胶成膜的新装置及方法，具备设备操作简单、膜层图形具备选择性、光刻胶用量少和基板尺寸可调等优点。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种液晶显示器光刻胶成膜的装置，包括载物平台，所述载物平台的一侧设有导轨支架，所述导轨支架上安装有上下两根平行于载物平台的导轨，所述两根导轨均连接有移动板，安装在上导轨上的移动板为第一移动板，安装在下导轨上的移动板为第二移动板，所述第一移动板的前端连接有移胶装置，所述第二移动板的前端连接有滚胶装置；所述载物平台上设有光刻胶槽和玻璃基板固定装置，所述光刻胶槽内装有成膜母版，所述玻璃基板固定装置上固定有玻璃基板。

进一步的，所述移胶装置由销钉、弹簧和凸面移胶头组成，所述销钉穿过第一移动板，销钉位于移动板上方的部分穿过弹簧，销钉的下方连接凸面移胶头。按压销钉的顶部，凸面移胶头下降，松开销钉，凸面移胶头返回原来的位置。

进一步的，所述滚胶装置由滚轮和刮板组成并安装在同一底板上，滚轮和刮板从一侧移到另一侧，滚轮将光刻胶液从滚轮转移至成膜母版，刮板随后从成膜母版表面刮过，去除多余的光刻胶液。

进一步的，所述滚轮和刮板的材质均为橡胶，所述滚轮的表面为密集螺纹状，橡胶材质且带有螺纹的滚轮，可较好吸附光刻胶液。

进一步的，所述滚轮与底板的之间采用弹簧活页连接。弹簧活页具体由活页、弹簧和连接销构成，使滚轮具有弹性作用，这样滚轮可与成膜母版紧密接触。

进一步的，所述成膜母版由成矩阵排列的圆柱体和圆柱体之间的空隙组成，所述圆柱体的半径为0.5mm，高0.2mm，圆柱体之间的间距为1.2mm。相邻圆柱体之间的空隙供光刻胶液储存，胶液在凹槽内流动相较好，圆柱体的排列结构可保证橡胶刮板刮过光刻胶液分布的均匀性，同时也易于通过凸面移胶头转移形成均匀的膜层。

本实用新型还提供一种液晶显示器光刻胶成膜的方法，包括如下几个步骤：

1）将设计好的成膜母版放置于光刻胶槽中并固定成膜母版的位置；

2）将第二移动板移动至成膜母版的一侧，在光刻胶槽内倒入光刻胶胶液；

3）第二移动板前端的滚胶装置与光刻胶胶液充分接触后从成膜母版的一侧滚到另一侧；

4）将需要成膜的玻璃基板固定在基板固定位置上，调节移胶装置定位于成膜母版的上方，启动移胶装置将成膜母版上的光刻胶液吸附到移胶装置上；

5）将移胶装置移动到玻璃基板的上方，移胶装置将光刻胶液转移到玻璃基板表面；

6）从基板固定装置上取下带有光刻胶液膜层的玻璃基板，送至烘箱中60-80℃烘干流平30min，即形成固态光刻胶膜层。

有益效果：与现有技术相比，本实用新型提供了一种液晶显示器件光刻胶成膜的装置及方法，首先通过滚胶装置在成膜母版中形成光刻胶膜层；然后利用移胶装置将成膜母版中光刻胶转移至玻璃基板表面；最后通过烘干形成固态光刻胶膜层。本实用新型设备简单，可完成间歇式光刻胶成膜过程，过程操作容易、单次光刻胶用量较少，通过光刻胶成膜母版的置换，可适应多种尺寸的玻璃基板和成膜图形，光刻胶成膜具备选择性。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图。

图2是本实用新型的滚轮结构示意图。

图3是本实用新型成膜母版结构示意图。

具体实施方式

为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例和附图对本实用新型作进一步详述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。

实施例1