[实用新型]一种等离子刻蚀尾气处理装置有效
| 申请号： | 201720722096.1 | 申请日： | 2017-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN207303039U | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 吕康理;刘亚坤;吕承鹏;于玉斋;王明明;吕飞;涂亮亮;魏明德 | 申请（专利权）人： | 徐州同鑫光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 徐州市三联专利事务所32220 | 代理人： | 周爱芳 |
| 地址： | 221000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 刻蚀 尾气 处理 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种等离子刻蚀尾气处理装置，其特征在于，包括用于尾气反应的腔室(3)，所述腔室(3)呈凸字形，腔室(3)包括上腔体(5)和下腔体(2)；
所述下腔体(2)内设有处理液(1)，下腔体(2)一侧设有排气管路(4)，所述上腔体(5)的一侧设有进气口(11)，上腔体(5)的顶部外设有电机(7)，电机(7)上接有一贯穿上腔体(5)顶部的旋转轴(8)，旋转轴(8)上接有可随旋转轴(8)转动的搅拌扇(6)；
所述搅拌扇(6)包括与旋转轴(8)连接的扇杆(9)、及设置在扇杆(9)两端的扇叶(10)。
2.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀尾气处理装置，其特征在于，所述扇杆(9)的两端为弧形，扇杆(9)垂直固定在旋转轴(8)的底端。
3.根据权利要求2所述的一种等离子刻蚀尾气处理装置，其特征在于，所述扇叶(10)与上腔体(5)的侧壁间距为10-20mm。
4.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀尾气处理装置，其特征在于，所述扇叶(10)采用PEEK、PPS、PVDF、PC、PENY或PTFE制成。
5.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀尾气处理装置，其特征在于，所述排气管路(4)上端接有排气管(13)。
6.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀尾气处理装置，其特征在于，所述旋转轴(8)与上腔体(5)连接处设有密封圈(12)。
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