[实用新型]一种石英玻璃盖的激光加工装置

说明书

本实用新型公开了一种石英玻璃盖的激光加工装置，包括底座，设置于所述底座上的工作平台，所述工作平台与所述底座为弹性连接，所述工作平台上设置有三维运动系统，所述三维运动系统连接有工控机，所述工控机连接有显示屏；所述工作平台的两侧还设置有立柱，所述立柱的顶部固定连接有光学平台，所述光学平台的顶面与所述工作平台平行，所述光学平台的顶面设置有所述转折镜组件和激光发生器；所述三维运动系统设置有用于吸附石英玻璃盖的真空吸附平台，所述真空吸附平台上方设置有金刚石刀轮、所述振镜、所述流体冷却系统的喷嘴，所述振镜底部安装有透镜；其使得加工后的石英玻璃盖能够提供更好的密封性能。

技术领域

本实用新型涉及激光切割技术领域，尤其涉及一种石英玻璃盖的激光加工装置。

背景技术

石英玻璃是二氧化硅单一成分的非晶态材料，其微观结构是一种由二氧化硅四面结构体结构单元组成的单纯网络，由于Si-O化学键能很大，结构很紧密，所以石英玻璃具有独特的性能，尤其透明石英玻璃的光学性能非常优异，在紫外到红外辐射的连续波长范围都有优良的透射比。因此，石英玻璃材质的石英玻璃盖因为石英玻璃的特殊性能也得到了广泛的应用。然而采用传统的机械切割石英玻璃方法制成的石英玻璃盖的断口粗糙，导致制成的石英玻璃盖的密封性能差。

发明内容

本实用新型的发明目的是提供一种石英玻璃盖的激光加工装置，使得加工后的石英玻璃盖能够提供更好的密封性能。

为了达到上述发明目的，本实用新型采用的技术方案是：一种石英玻璃盖的激光加工装置，包括底座，设置于所述底座上的工作平台，所述工作平台与所述底座为弹性连接，所述工作平台上设置有三维运动系统，所述三维运动系统连接有工控机，所述工控机连接有显示屏；所述工作平台的两侧还设置有立柱，所述立柱的顶部固定连接有光学平台，所述光学平台的顶面与所述工作平台平行，所述光学平台的顶面设置有所述转折镜组件和激光发生器；所述三维运动系统设置有用于吸附石英玻璃盖的真空吸附平台，所述真空吸附平台上方设置有金刚石刀轮、所述振镜、所述流体冷却系统的喷嘴，所述振镜底部安装有透镜，所述激光发生器发出的光束经所述转折镜组件发射后进入所述振镜，所述振镜扫描以形成与加工路径相匹配的形状的激光光斑，通过三维运动系统动作带动石英玻璃盖运动，使激光光斑沿预定的切割路径加热石英玻璃，同时通过所述流体冷却系统的喷嘴冷却，通过应力使石英玻璃断裂，其中，所述激光发生器的功率为200～300W，激光波长为10.5μm。

上述技术方案中，所述三维运动系统包括设置在所述工作平台上的Y轴运动系统、固定在所述光学平台侧面的X轴运动系统、固定在所述X轴运动系统上的Z1轴运动系统和Z2轴运动系统、以及紧固到所述Y轴运动系统上的DD旋转轴运动系统，所述X轴运动系统与所述Y轴运动系统垂直；所述真空吸附平台固定连接在所述DD旋转轴运动系统上；所述金刚石刀轮设置在所述Z1轴运动系统上；所述振镜和所述流体冷却系统的喷嘴设置在所述Z2轴运动系统上；通过所述X轴运动系统、Y轴运动系统和DD旋转轴运动系统带动石英玻璃盖运动。

其中，所述激光发生器的功率为235W。

进一步的技术方案，所述真空吸附平台的上方还设置有石英玻璃盖的切割端面的粗糙度检测装置，所述粗糙度检测装置连接所述工控机。

其中，所述真空吸附平台的上方还设置有端面研磨装置，所述端面研磨装置连接所述工控机，当所述粗糙度检测装置检测到的端面粗糙度大于预定值时，所述端面研磨装置对切割端面进行研磨。

上述技术方案中，所述工作平台上设置有吸尘装置，所述吸尘装置与所述工控机连接。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：