[实用新型]用于晶圆测试的探针卡及测试系统

权利要求书

1.用于晶圆测试的探针卡，其特征在于，包括电路板，所述电路板上设置有：

圆形通孔，沿所述圆形通孔的边缘位置设置有焊接位，所述焊接位沿所述圆形通孔的周向连接有第一探针组、第二探针组和第三探针组，所述第一探针组、所述第二探针组和所述第三探针组中的探针的第一端连接所述焊接位，所述探针的第二端贯穿所述圆形通孔；

第一单片机接口；

第一继电器，所述第一继电器与所述第一单片机接口、所述第一探针组连接；

第二单片机接口；

第二继电器，所述第二继电器与所述第二单片机接口、所述第二探针组连接；

第三继电器组，所述第三继电器组与所述第三探针组连接。

2.根据权利要求1所述的用于晶圆测试的探针卡，其特征在于：

所述第三继电器组包括三个继电器，三个所述继电器均与所述第三探针组连接。

3.用于晶圆测试的测试系统，其特征在于，包括：

测试仪，所述测试仪对所述晶圆进行第一测试；

单片机，所述单片机接收所述测试仪的启动信号，所述单片机通过加密算法对所述晶圆进行第二测试；

探针卡，所述探针卡包括电路板，所述电路板上设置有：

圆形通孔，沿所述圆形通孔的边缘位置设置有焊接位，所述焊接位沿所述圆形通孔的周向连接有第一探针组、第二探针组和第三探针组，所述第一探针组、第二探针组和第三探针组中的探针的第一端连接所述焊接位，所述探针的第二端贯穿所述圆形通孔；

第一单片机接口，所述第一单片机接口连接所述单片机；

第一继电器，所述第一继电器与所述第一单片机接口、所述第一探针组连接，所述第一继电器用于与所述测试仪连接并接收所述测试仪输出的第一通断信号；

第二单片机接口，所述第二单片机接口连接所述单片机；

第二继电器，所述第二继电器与所述第二单片机接口、所述第二探针组连接，所述第二继电器用于与所述测试仪连接并接收所述测试仪输出的第二通断信号；

第三继电器组，所述第三继电器组与所述第三探针组连接，所述第三继电器组用于与所述测试仪连接并接收所述测试仪输出的第三通断信号。

4.根据权利要求3所述的用于晶圆测试的测试系统，其特征在于：

所述第三继电器组包括三个继电器，三个所述继电器均与所述第三探针组连接，三个所述继电器分别接收所述测试仪输出的所述第三通断信号。