[实用新型]微机电设备有效
| 申请号： | 201720760087.1 | 申请日： | 2017-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN207390996U | 公开（公告）日： | 2018-05-22 |
| 发明（设计）人： | S·克斯坦蒂尼;M·卡米纳蒂;D·A·L·加蒂;L·M·卡斯托尔迪;R·卡尔米纳蒂 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C3/00;G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微机 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种微机电设备，其特征在于，包括：
第一单体本体，所述第一单体本体包括半导体材料；以及
第二单体本体，所述第二单体本体包括半导体材料，覆盖所述第一单体本体；
所述第一单体本体包括固定部分、可移动部分以及将所述可移动部分与所述固定部分弹性耦合的弹性元件；所述可移动部分承载致动元件，所述致动元件被配置成用于控制所述可移动部分相对于所述固定部分的相对移动；
所述第一单体本体具有突起，所述突起从所述可移动部分延伸并且键合至所述第二单体本体。
2.根据权利要求1所述的微机电设备，其特征在于，所述可移动部分和所述第二单体本体形成可围绕旋转轴旋转的可定向结构。
3.根据权利要求2所述的微机电设备，其特征在于，所述第二单体本体承载反射表面。
4.根据权利要求1所述的微机电设备，其特征在于，所述第一单体本体的所述固定部分容纳或支撑感测结构。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的微机电设备，其特征在于，所述致动元件选自磁性致动元件、静电致动元件以及压电致动元件。
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