[实用新型]一种检测PVC上微结构之间相似比例的装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种微结构检测技术，尤其是涉及一种检测PVC（Polyvinyl chloride，聚氯乙烯）上微结构之间相似比例的装置。

背景技术

随着微加工技术的快速发展，微结构及器件的研制已经成为了一个热门的领域，但是微加工而成的微结构及器件难免与所需要制备的样品之间存在一定的差异。例如，飞秒激光双光子微加工因其无掩模、真三维的加工优势显示出了巨大的应用潜力，近年来受到了广泛关注，但是在微加工过程中因受基片与聚合物材料结合力度、微加工平台精度以及环境等因素的影响，微加工而成的微结构时常会有一些缺陷存在。因此，研究一种检测PVC上微结构之间相似比例的装置，对利用飞秒激光双光子微加工等方法微加工而成的微结构与所需要制备的样品之间相似比例进行评估是很有必要的。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种检测PVC上微结构之间相似比例的装置，其能够准确获得PVC上微结构之间的相似比例，从而能够很好地判断微结构在重复微加工过程中的加工质量或缺陷，有利于改进微加工过程中的参数，以提高微加工质量。

本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种检测PVC上微结构之间相似比例的装置，其特征在于：包括PVC上微结构获取装置和相似比例检测系统，所述的PVC上微结构获取装置制备有两个微结构，分别作为样品和待测微结构，所述的相似比例检测系统由用于获取样品和待测微结构各自的图片的图片获取设备、计算机终端、数据处理模块、用于显示PVC上微结构之间相似比例的数据显示设备组成，所述的数据处理模块包括用于输入样品和待测微结构各自的图片的图片输入模块和用于获取样品和待测微结构的图片之间相似比例的树莓派计算模块，所述的图片获取设备的输出端与所述的计算机终端连接，所述的计算机终端与所述的图片输入模块的输入端连接，所述的图片输入模块的输出端与所述的树莓派计算模块的输入端连接，所述的树莓派计算模块的输出端与所述的数据显示设备的输入端连接。

所述的PVC上微结构获取装置由载波片、PVC塑料片和盖玻片组成，所述的PVC塑料片设置于所述的载波片的上表面上，所述的PVC塑料片的上表面的对称两侧各设置有一个衬垫，所述的PVC塑料片的上表面且位于两个所述的衬垫之间的区域构成微结构制备区域，所述的微结构制备区域内制备有分别作为样品和待测微结构的两个微结构，所述的盖玻片设置于两个所述的衬垫的上表面上，且覆盖住制备的两个微结构。在此，在PVC塑料片的上表面上制备两个微结构，两个微结构能够很好地吸附于PVC塑料片的上表面上，从而使得两个微结构更加牢固。

所述的载波片的表面面积大于所述的PVC塑料片的表面面积，所述的PVC塑料片通过紫外胶固定于所述的载波片的上表面的中央区域上。在此，利用紫外胶固定PVC塑料片和载波片，不仅方便，而且牢固。

所述的微结构制备区域内滴有光刻胶，所述的盖玻片设置于两个所述的衬垫的上表面上后使所述的光刻胶均匀分布，利用飞秒激光双光子微加工技术或电子束光刻技术微加工所述的光刻胶获得两个微结构。在此，先利用盖玻片使微结构制备区域内的光刻胶分布均匀，再利用飞秒激光双光子微加工技术或电子束光刻技术对光刻胶进行微加工得到两个微结构。

所述的图片获取设备为显微镜，显微镜可为通用显微镜，也可为扫描电子显微镜，还可采用现有的其它拍摄设备。

所述的数据显示设备为液晶显示屏等显示设备。

所述的图片获取设备的输出端与所述的计算机终端之间、所述的图片输入模块的输出端与所述的树莓派计算模块的输入端之间、所述的树莓派计算模块的输出端与所述的数据显示设备的输入端之间均通过数据线连接，所述的计算机终端与所述的图片输入模块的输入端之间通过无线网络或有线网络连接。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：

1）该装置利用树莓派计算模块能够准确计算得到样品和待测微结构的图片之间的相似比例，即能够准确获得PVC上微结构之间的相似比例，精度高、可靠性好，从而能够很好地判断微结构在重复微加工过程中的加工质量或缺陷，这样有利于改进微加工过程中的参数，以提高微加工质量。

2）该装置在检测过程中只需利用图片获取设备分别获取样品和待测微结构各自的图片即可，因此不会对两个微结构造成损坏。

附图说明

图1为本实用新型的检测PVC上微结构之间相似比例的装置中的PVC上微结构获取装置的正视图；