[实用新型]一种高稳定性单晶生长炉有效

专利信息
申请号: 201720760765.4 申请日: 2017-06-28
公开(公告)号: CN207362370U 公开(公告)日: 2018-05-15
发明(设计)人: 张琦;吕志萍 申请(专利权)人: 安徽火天晶体科技有限公司
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00
代理公司: 铜陵市天成专利事务所 34105 代理人: 范智强
地址: 244000 安徽省铜陵*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 稳定性 生长
【权利要求书】:

1.一种高稳定性单晶生长炉,其特征是包括炉体(1)和炉筒(3),所述炉体(1)上固接有支架(2),所述支架(2)上设有提升机(4),所述提升机(4)的底部固接调节杆(5),所述调节杆(5)通过连接装置(6)和炉筒(3)相连;所述连接装置(6)包括两个法兰盘(62),所述法兰盘(62)的两端固接螺杆(61),所述法兰盘(62)之间通过螺栓(63)相连,上部的法兰盘(62)上设有若干定位杆(64),所述定位杆(64)穿过上部的法兰盘和位于下部的法兰盘相接。

2.根据权利要求1所述的一种高稳定性单晶生长炉,其特征是所述定位杆(64)的数量为三个,呈三角形排布。

3.根据权利要求1所述的一种高稳定性单晶生长炉,其特征是所述定位杆(64)的数量为四个,呈正方形排布。

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