[实用新型]清洗换液机构和芯片检测装置

权利要求书

1.清洗换液机构，其特征在于：

所述清洗换液机构包括升降组件、平移组件、吹气组件、注液组件、吸液组件和芯片位，所述升降组件与所述吸液组件连接并可驱动所述吸液组件相对于所述芯片位升降移动，所述平移组件与所述吹气组件连接并可驱动所述吹气组件相对于所述芯片位平移移动；

所述吹气组件包括气体通道和气泵接口，所述气泵接口和所述气体通道连接，所述气体通道的出气口用于向所述芯片位吹气；

所述注液组件包括第一导管，所述注液组件用于通过所述第一导管朝向所述芯片位加注测试液，所述第一导管的出口设置在滑轨的延伸方向的前侧；

所述吸液组件包括第二导管，所述吸液组件用于通过所述第二导管朝向所述芯片位吸取测试液，所述第一导管的出口和所述第二导管的入口设置在所述滑轨的延伸方向的后侧。

2.根据权利要求1所述的清洗换液机构，其特征在于：

所述第一导管与水平面之间呈平行设置或呈加注倾角设置，所述加注倾角呈锐角设置。

3.根据权利要求2所述的清洗换液机构，其特征在于：

在所述第一导管的一侧固定设置有分离片，所述分离片位于所述升降组件和所述芯片位之间。

4.根据权利要求1所述的清洗换液机构，其特征在于：

所述出气口朝向所述第二导管的入口地倾斜设置。

5.根据权利要求1至4任一项所述的清洗换液机构，其特征在于：

所述平移组件包括电机、偏心轮、滑块和滑轨，所述电机驱动所述偏心轮绕所述电机的输出轴沿周向移动，所述滑块设置有腰圆孔，所述偏心轮与所述腰圆孔配合，所述滑块与所述滑轨配合并可沿所述滑轨滑动，所述吹气组件设置在所述滑块上。

6.根据权利要求1至4任一项所述的清洗换液机构，其特征在于：

所述升降组件包括电机、偏心轮、滑块和滑轨，所述电机驱动所述偏心轮绕所述电机的输出轴沿周向移动，所述滑块设置有腰圆孔，所述偏心轮与所述腰圆孔配合，所述滑块与所述滑轨配合并可沿所述滑轨滑动，所述吸液组件设置在所述滑块上。

7.芯片检测装置，其特征在于，包括

传送机构，所述传送机构用于运送测试芯片，

清洗换液机构，所述清洗换液机构采用上述权利要求1至6任一项所述的清洗换液机构，所述芯片位用于容纳所述测试芯片；

测试反应装置，所述传送机构穿过所述测试反应装置。

8.根据权利要求7所述的芯片检测装置，其特征在于：

所述传送机构包括多个传送带组件；

多个所述传送带组件呈并排设置，所述传送带组件上设置有芯片安装位，所述传送带组件穿过所述测试反应装置，所述清洗换液机构设置在所述传送带的端部上。

9.根据权利要求8所述的芯片检测装置，其特征在于：

所述传送机构还包括转移组件，所述转移组件连接在两个所述传送带组件之间；

所述转移组件包括伺服电机、主动轮、从动轮、同步带、滑块、主绝对位置编码器和从绝对位置编码器；

所述主动轮设置在所述伺服电机的输出轴上，所述主绝对位置编码器设置在所述伺服电机上，所述同步带连接在所述主动轮和所述从动轮之间，所述滑块设置在所述同步带上，所述从绝对位置编码器与所述从动轮连接；

所述主动轮的直径与所述从动轮的直径不相同。

10.根据权利要求7所述的芯片检测装置，其特征在于：

所述测试反应装置包括盖体、液体槽和加热装置，所述加热装置用于对所述液体槽内存储的液体加热，所述盖体盖合在所述液体槽的上方，所述盖体和所述液体槽之间形成反应腔室，所述传送机构穿过所述反应腔室。