[实用新型]一种基于微纳光腔的超高精度单轴光学加速度计

权利要求书

1.一种基于微纳光腔的超高精度单轴光学加速度计，其特征在于：包括壳体和安装在壳体内部的微纳光腔组件、激光探测组件、温度控制板和信号处理板；

微纳光腔组件包括固定在壳体底板上的腔体以及固定在腔体顶部开口空腔内的压电薄膜、微机械放大器和微纳光栅，微纳光栅、压电薄膜和微机械放大器依次集成堆叠形成三明治式结构，压电薄膜上设有引线；

激光探测组件包括固定的盖在腔体上的腔盖，腔盖顶壁安装有垂直的激光器和衰减片以及倾斜的衍射光探测器、侧壁安装有水平的基础光探测器和环境光探测器，激光器下方依次安装有偏振片、四分之一波片和分光镜；

激光器发出激光束经偏振片和四分之一波片后通过分光镜分为两束激光，一束激光沿水平方向经过衰减片射入基础光探测器，另一束激光继续垂直入射到微纳光栅上并且其中一部分激光发生反射式衍射、另一部分激光透过衍射光栅被微机械放大器上表面的高反膜反射再次通过衍射光栅发生透射式衍射，两种衍射光束发生干涉形成光强与微机械放大器的敏感质量块的位移相关的光斑并被倾斜的衍射光探测器探测。

2.如权利要求1所述的基于微纳光腔的超高精度单轴光学加速度计，其特征在于：压电薄膜生长于微机械放大器基底表面并与微纳光栅键合。

3.如权利要求1所述的基于微纳光腔的超高精度单轴光学加速度计，其特征在于：压电薄膜、微机械放大器和微纳光栅通过紫外胶粘接在腔体顶部开口空腔内，腔盖通过紫外胶粘接在腔体上，引线键合在压电薄膜上。

4.如权利要求1所述的基于微纳光腔的超高精度单轴光学加速度计，其特征在于：信号处理板包括锁相放大微弱信号提取模块、三光路光信号补偿模块、闭环反馈及控制模块、数据采集和分析模块。

5.如权利要求1所述的基于微纳光腔的超高精度单轴光学加速度计，其特征在于：壳体内部还设有电路板支座，壳体底板、电路板支座和温度控制板上均设有螺柱，腔体通过螺钉固定在壳体底板上，电路板支座通过螺钉固定在壳体底板的螺柱上且位于腔盖上方，温度控制板通过螺钉固定在电路板支座的螺柱上，信号处理板通过螺钉固定在温度控制板的螺柱上。

6.如权利要求5所述的基于微纳光腔的超高精度单轴光学加速度计，其特征在于：螺钉和螺柱均为铜制。