[实用新型]光罩

权利要求书

1.光罩，包括基板和设在基板上的、由光阻层构成的图案，其特征在于，所述基板上、所述图案的周围设有一条闭环的蚀刻槽，所述蚀刻槽内设有圆环型的弹性挡板和弹性密封膜，所述弹性挡板通过若干与蚀刻槽的槽底平行的连接杆连接在蚀刻槽的外侧壁上，所述连接杆伸出基板；

所述连接杆上设有若干凹槽，所述基板的侧壁上、连接杆伸出的开口处设有卡件；

所述弹性密封膜的内边固定在弹性挡板的上部，所述弹性密封膜的外边固定连接在蚀刻槽的外侧壁上。

2.根据权利要求1所述的光罩，其特征在于，所述卡件为弯钩，所述弯钩的钩体内侧可适配在凹槽中，所述弯钩的非钩体端旋转连接在基板的侧壁上。

3.根据权利要求1所述的光罩，其特征在于，所述卡件为对称设置的两个可适配在凹槽中的卡扣，所述卡扣滑动连接在基板的侧壁上。