[实用新型]晶片排片舟

说明书

晶片排片舟。涉及晶片加工装置，尤其涉及对晶片排片舟的改进。能够适应多种规格晶片、结构简单且使用方便。包括一对支架，一对所述支架之间设有相同的两对固定装置，所述固定装置之间相互平行，所述固定装置上均布若干晶片托，若干所述晶片托通过伸缩机构设于所述固定装置上；所述伸缩机构包括上齿柱、下齿柱和弹簧，所述上齿柱和下齿柱设于外壳内，所述外壳的侧壁上设有导向槽，所述外壳的下部边缘上均布斜齿；所述上齿柱的底端设有上齿，所述下齿柱的上端设有与上齿不完全啮合的下齿，所述下齿柱中空，所述下齿柱中空的部分设有弹簧，所述下齿柱的侧壁上设有与所述导向槽相适配的导向条。适应多种规格晶片、结构简单且使用方便。

技术领域

本实用新型涉及晶片加工装置，尤其涉及对晶片排片舟的改进。

背景技术

半导体芯片的制备厂中，晶片是用于制备芯片的基本载体，其作为半导体衬底需要许多步工艺处理（例如，氧化扩散），在进行工艺处理时需要晶舟装载，确保晶片能够均匀处理。晶舟一般使用铁氟龙材料制备形成，耐蚀性、耐高温性强。但是，现有的一个型号的晶舟仅能适应一种规格的晶片（通常呈圆形，以半径计量大小），目前生产过程中使用的晶舟，包含针对不同晶圆尺寸不同的舟，由于生产产品多样性及不同时段不同需求量，生产过程需配置多于正常使用的舟，导致治具的浪费和较大的投入，同时受作业环境特定要求，治具的存放还需增加更多的投入便于有效保持清洁，导致更大的投入，且不便于生产管理。

实用新型内容

本实用新型针对以上问题，提供了一种能够适应多种规格晶片、结构简单且使用方便的晶片排片舟。

本实用新型的技术方案是：包括一对支架，一对所述支架之间设有相同的两对固定装置，所述固定装置之间相互平行，所述固定装置上均布若干晶片托，若干所述晶片托通过伸缩机构设于所述固定装置上；

所述伸缩机构包括上齿柱、下齿柱和弹簧，所述上齿柱和下齿柱设于外壳内，所述外壳的侧壁上设有导向槽，所述外壳的下部边缘上均布斜齿；

所述上齿柱的底端设有上齿，所述下齿柱的上端设有与上齿不完全啮合的下齿，所述下齿柱中空，所述下齿柱中空的部分设有弹簧，所述下齿柱的侧壁上设有与所述导向槽相适配的导向条。

所述晶片托上设有与晶片厚度相同的排片槽。

所述排片槽的内壁上设有若干吸盘，若干所述吸盘的中心设有吸气用的管道，所述管道连接真空机。

本实用新型利用伸缩机构实现伸缩功能，在排片舟内能够容置不同大小的晶片，其中上齿柱和下齿柱不完全啮合，上齿和下齿仅齿尖部分啮合，当下齿柱在上齿柱推动下滑出导向槽后，由于弹簧的作用，下齿柱的齿会沿着相啮合的上齿柱的齿的斜面滑动，这样在斜面的作用下，下齿柱会转过一个角度，滑到另一侧去，当再次按动上齿柱时，下齿柱会再次转过一个角度，将导向条送至导向槽中，使得上下齿柱复位。假设排片舟中是四寸晶片时，按下晶片托，使得上齿和下齿啮合，下齿卡在外壳上，使得上齿柱向排片舟底部方向运动并固定，使得晶片托之间的间距变大，足够放置四寸晶片。当需要放置三寸晶片时，则再次按动上齿柱，使得上齿柱和下齿柱复位，缩小晶片放置的空间达到三寸晶片的要求。同一个排片舟就能够既存放三寸晶片又存放四寸晶片，也就是说能够适应多种规格晶片、结构简单且使用方便。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图，

图2是图1中A-A剖视图；

图中1是支架，2是固定装置，21是晶片托，3是伸缩机构，31是上齿柱，311是上齿，32是下齿柱，321是下齿，33是弹簧，34是导向槽，35是排片槽，36是外壳。

具体实施方式

本实用新型如图1-2所示，包括一对支架1，一对所述支架之间设有相同的两对固定装置2，所述固定装置之间相互平行，所述固定装置上均布若干晶片托21，若干所述晶片托通过伸缩机构3设于所述固定装置上；