[实用新型]一种浓度可控的气体发生装置

权利要求书

1.一种浓度可控的气体发生装置，其特征在于：包括控制柜（2），所述控制柜（2）的柜体上可拆卸安装有电源接口（20）、第一气体入口（21）、第二气体入口（22）和气体出口（23），所述控制柜（2）内设有电源转换模块（24）、微电脑及显示屏（25）和气体汇流混合箱（26），所述电源转换模块（24）的输入端与电源接口（20）连接，所述电源转换模块（24）的输出端与微电脑及显示屏（25）的输入端连接，所述气体汇流混合箱（26）的进气口均与第一气体入口（21）、第二气体入口（22）连通有管路（7），且这两段管路（7）上由入到出依次设置有质量流量计和流量调节阀，所述质量流量计的输出端与微电脑及显示屏（25）的输入端连接，所述微电脑及显示屏（25）的输出端与流量调节阀的输入端连接，所述气体汇流混合箱（26）的出气口通过第三段管路（7）与气体出口（23）相连通。

2.根据权利要求1所述的一种浓度可控的气体发生装置，其特征在于：所述电源转换模块（24）的型号为AC220-DC24V，所述的流量调节阀为电动调节阀。

3.根据权利要求2所述的一种浓度可控的气体发生装置，其特征在于：所述气体汇流混合箱（26）的进气口和出气口均安装有波纹管（1），所述波纹管（1）的自由端套设有连接件（5），所述的连接件（5）为六棱柱中空管状结构、且外套设有安装扳手（6），所述连接件（5）的内壁中部垂直一体成型有分隔板（50），所述分隔板（50）的中心位置开设有孔，所述分隔板（50）于孔的位置垂直连通有支管（500），所述的分隔板（50）将连接件（5）分隔成两部分，即第一接头（51）和第二接头（52），所述的支管（500）位于第一接头（51）内，所述波纹管（1）的自由端与第一接头（51）连接，所述第二接头（52）的内壁开设有内螺纹，所述第二接头（52）通过第三段管路（7）与气体出口（23）连接。

4.根据权利要求3所述的一种浓度可控的气体发生装置，其特征在于：所述第一接头（51）的内壁、支管（500）的外壁、以及第一接头（51）的内底均设有密封层（510），所述第二接头（52）的内壁沿径向开设有环形凹槽（520），所述的环形凹槽（520）内可拆卸套设有密封圈。

5.根据权利要求4所述的一种浓度可控的气体发生装置，其特征在于：所述安装扳手（6）包括圆柱体（60），所述圆柱体（60）沿轴向开设有断面呈正六边形的通孔（61），所述的通孔（61）与连接件（5）的外壁匹配，所述圆柱体（60）的外壁沿径向一体成型有多块耳板（62），所述的耳板（62）与圆柱体（60）的端面垂直。