[实用新型]一种碳化硅加工冷却装置有效
| 申请号： | 201720771010.4 | 申请日： | 2017-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN207176119U | 公开（公告）日： | 2018-04-03 |
| 发明（设计）人： | 宗艳民;侯文海;王含冠 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B35/00;F27D9/00 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司37205 | 代理人： | 苗峻,张平平 |
| 地址： | 250100 山东省济南市高新区新*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 加工 冷却 装置 | ||
1.一种碳化硅加工冷却装置，包括对称设置的半圆形第一电极板(3)、第二电极板(4)和两电极外周的加热炉(8)，其特征在于：所述第一电极板(3)和第二电极板(4)的连接于竖直设置的钨加热棒(5)上端，所述钨加热棒(5)的下端插接有钨环(11)，所述第一电极板(3)和第二电极板(4)的外侧设有安装板(1)，所述安装板(1)的表面设有安装孔(2)，所述安装板(1)通过螺钉(10)安装于加热炉(8)的内部，所述加热炉(8)的上端设有上盖(14)，所述加热炉(8)的内部通过十字隔热板(7)分割为四个腔体(17)，所述腔体(17)的内部设有第一冷却水管(9)，所述加热炉(8)的侧壁内部周向设有第二冷却水管(6)，所述加热炉(8)的下部、上部分别设有连通第一冷却水管(9)的第一进水口(15)、第一出水口(16),所述加热炉(8)的右侧下部、左侧上部分别设有连通第二冷却水管(6)的、第二进水口(12)、第二出水口(13)。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅加工冷却装置，其特征在
于：所述钨加热棒(5)为等距对称设置。
3.根据权利要求1所述的一种碳化硅加工冷却装置，其特征在
于：所述安装孔(2)为对称设置，所述螺钉(10)螺接于安装孔(2)的内部。
4.根据权利要求1所述的一种碳化硅加工冷却装置，其特征在
于：所述上盖(14)与加热炉(8)接触处设有密封垫。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东天岳先进材料科技有限公司，未经山东天岳先进材料科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201720771010.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
