[实用新型]一种碳化硅生产用长晶炉支撑装置

说明书

技术领域

本实用新型属于碳化硅生产技术领域，具体涉及一种碳化硅生产用长晶炉支撑装置。

背景技术

工作时，为提高晶体的质量，理论上需将钨坩埚放置在发热体的中心位置，即钨坩埚与发热体的同心度要一致，为保证钨坩埚与发热体的同心度，现有的碳化硅长晶炉中是先将钨托盘设置在发热体的中心位置上，再通过钨托盘与钨坩埚之间进行紧配合从而保证钨坩埚与发热体的同心度。

在实际工作过程中，由于炉内温度可高达2000多度且加工一炉的时间会长达10至20天左右，在这种情况下，发热体在使用一段时间后会发生变形，这时钨托盘与钨坩埚就不能保证同心度，需要将钨坩埚在水平上移动进行中心调整，但是，由于现有技术中的钨托盘与钨坩埚之间是通过紧配合连接的。为此，我们提出一种碳化硅生产用长晶炉支撑装置，以解决上述背景技术中提到的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种碳化硅生产用长晶炉支撑装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种碳化硅生产用长晶炉支撑装置，包括坩埚托盘和支撑座，所述支撑座的中部设有支撑柱，所述支撑柱的侧面铰接有防护门，所述支撑座的内部设有螺纹孔，所述螺纹孔的内部螺接有螺纹杆，所述螺纹杆的上端连接有支杆，所述坩埚托盘设置在支杆的上端，所述坩埚托盘的下端设有与支杆匹配的插孔，所述坩埚托盘的上端设有坩埚。

优选的，所述螺纹杆设有三组，且所述螺纹杆等角度分布在支撑柱的侧面。

优选的，所述螺纹杆的外侧固定安装有六角螺母。

优选的，所述插孔与支杆的组数一致，且所述插孔的直径大于支杆的直径0.5-1cm。

优选的，所述支杆与螺纹杆之间通过转动轴承活动连接。

优选的，所述支撑柱的长度低于螺纹杆与支杆的长度之和5-10cm。

本实用新型的技术效果和优点：该碳化硅生产用长晶炉支撑装置，通过在支撑座的内部设有螺纹杆，并通过转动轴承将螺纹杆与支杆连接，当发热体变形而发生偏移时，可以通过调节螺纹杆的高度来调节坩埚托盘的偏移，该组合结构可以将发热体与坩埚托盘保持同心，增加结晶质量和效率，本实用新型结构简单，增加长晶效率和质量，使用安全方便。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的支撑座的俯视结构示意图；

图3为本实用新型的坩埚托盘的结构示意图。

图中：1是坩埚托盘，2是支撑座，3是支撑柱，4是防护门，5是螺纹孔，6是螺纹杆，7是支杆，8是插孔，9是坩埚，10是六角螺母，11是转动轴承。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

请参阅图1-3，本实用新型提供的一种技术方案：一种碳化硅生产用长晶炉支撑装置，包括坩埚托盘1和支撑座2，所述支撑座2的中部设有支撑柱3，所述支撑柱3的侧面铰接有防护门4，所述支撑座2的内部设有螺纹孔5，所述螺纹孔5的内部螺接有螺纹杆6，所述螺纹杆6的上端连接有支杆7，所述坩埚托盘1设置在支杆7的上端，所述坩埚托盘1的下端设有与支杆7匹配的插孔8，所述坩埚托盘1的上端设有坩埚9。

进一步的，所述螺纹杆6设有三组，且所述螺纹杆6等角度分布在支撑柱3的侧面，用于调节坩埚托盘1的偏移。

进一步的，所述螺纹杆6的外侧固定安装有六角螺母10，便于转动螺纹杆6，用于高度变换。

进一步的，所述插孔8与支杆7的组数一致，且所述插孔8的直径大于支杆7的直径0.5-1cm，给支杆7留有适当的偏移空间。

进一步的，所述支杆7与螺纹杆6之间通过转动轴承11活动连接，可以通过螺纹杆6的转动带动支杆7的高度调节。

进一步的，所述支撑柱3的长度低于螺纹杆6与支杆7的长度之和5-10cm，在坩埚托盘1进行偏移时，支柱3不会对坩埚托盘1产生影响。

该碳化硅生产用长晶炉支撑装置，通过在支撑座2的内部设有螺纹杆6，并通过转动轴承11将螺纹杆6与支杆7连接，当发热体变形而发生偏移时，可以通过调节螺纹杆6的高度来调节坩埚托盘1的偏移，该组合结构可以将发热体与坩埚托盘1保持同心，增加结晶质量和效率，本实用新型结构简单，增加长晶效率和质量，使用安全方便。

本实施例中的其他部分均采用已有技术，在此不再赘述。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。