[实用新型]一种碳化硅加工加热装置的固定机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及固定机构技术领域，具体为一种碳化硅加工加热装置的固定机构。

背景技术

现有技术中的碳化硅晶体生长炉，一般采用鸟笼式的加热器。但是目前这些加热装置的加热棒安装不牢固，与电极板的固定容易产生接触不良的现象，为此，我们推出一种碳化硅加工加热装置的固定机构。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种碳化硅加工加热装置的固定机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种碳化硅加工加热装置的固定机构，包括第一电极板和第二电极板及其外侧的加热炉，所述第一电极板和第二电极板的外侧设有安装板，所述安装板的表面设有安装孔，所述第一电极板和第二电极板的底部设有钨加热棒，所述钨加热棒的上端贯穿第一电极板和第二电极板且两钨加热棒之间通过连接环相连，所述连接环通过第一螺钉螺接于第一电极板和第二电极板的上端，所述钨加热棒的下端底部插接有钨环，所述第一电极板和第二电极板通过第二螺钉安装于加热炉的内部。

优选的，所述钨加热棒为等距对称设置。

优选的，所述第一电极板和第二电极板的形状呈半圆形。

优选的，所述安装孔为对称设置，所述第二螺钉螺接于安装孔的内部。

优选的，所述加热炉的外壁设有隔热层。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过钨加热棒的等距对称设置，使得钨加热棒密集分布，高密集度的分布保证热场均匀，并实现精确控制，数量越多电阻越小，相同工作电压情况下，电热转换效率越高，通过第一电极板和第二电极板的形状呈半圆形的设置，便于第一电极板和第二电极板安装于加热炉的内部，通过安装孔的对称设置，使得安装板固定牢固，通过第一螺钉固定于相邻钨加热棒之间的设置，使得连接环对第一电极板和第二电极板的固定效果更好，连接环使钨加热棒与第一电极板和第二电极板接触良好。

附图说明

图1为本实用新型第一电极板和第二电极板结构示意图；

图2为本实用新型部分俯视结构示意图；

图3为本实用新型侧视结构示意图。

图中：1安装板、2安装孔、3第一电极板、4第一螺钉、5钨加热棒、6连接环、7第二电极板、8钨环、9加热炉、10第二螺钉。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种碳化硅加工加热装置的固定机构，包括第一电极板3和第二电极板7及其外侧的加热炉9，所述第一电极板3和第二电极板7的外侧设有安装板1，所述安装板1的表面设有安装孔2，所述第一电极板3和第二电极板7的底部设有钨加热棒5，所述钨加热棒5的上端贯穿第一电极板3和第二电极板7且两钨加热棒5之间通过连接环6相连，所述连接环6通过第一螺钉4螺接于第一电极板3和第二电极板7的上端，所述钨加热棒5的下端底部插接有钨环8，所述第一电极板3和第二电极板7通过第二螺钉10安装于加热炉9的内部。

通过第一螺钉4固定于相邻钨加热棒5之间的设置，使得连接环6对第一电极板3和第二电极板7的固定效果更好。

进一步的，所述钨加热棒5为等距对称设置，通过钨加热棒5的等距对称设置，使得钨加热棒5密集分布，高密集度的分布保证热场均匀，并实现精确控制，数量越多电阻越小，相同工作电压情况下，电热转换效率越高。

进一步的，所述第一电极板3和第二电极板7的形状呈半圆形，通过第一电极板3和第二电极板7的形状呈半圆形的设置，便于第一电极板3和第二电极板7安装于加热炉9的内部。

进一步的，所述安装孔2为对称设置，所述第二螺钉10螺接于安装孔2的内部，通过安装孔2的对称设置，使得安装板1固定牢固。

进一步的，所述加热炉9的外壁设有隔热层，通过隔热层的设置，提高加热炉9的加热效果。