[实用新型]一种碳化硅加工籽晶夹持装置有效
| 申请号： | 201720771093.7 | 申请日： | 2017-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN207109155U | 公开（公告）日： | 2018-03-16 |
| 发明（设计）人： | 王晓;杨树莲;刘鹏飞;柏文文 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司37205 | 代理人： | 苗峻 |
| 地址： | 250101 山东省济南市高新区新*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 加工 籽晶 夹持 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种碳化硅加工籽晶夹持装置，包括夹持柱体(1)，其特征在于：所述夹持柱体(1)的底部设有夹持腔(4)，所述夹持腔(4)的上侧位于夹持柱体(1)的上部设有夹持后腔(9)，所述夹持腔(4)的侧边设有凹槽(3)，所述凹槽(3)的内部通过螺杆(2)连接有夹紧块(5)，所述夹紧块(5)的内部设有轴承(7)，所述螺杆(2)的一端套接于轴承(7)的内部。
2.根据权利要求1所述的碳化硅加工籽晶夹持装置，其特征在于：所述夹持后腔(9)的表面设有后腔防护垫(10)。
3.根据权利要求1所述的碳化硅加工籽晶夹持装置，其特征在于：所述夹紧块(5)的内侧表面设有防护垫(6)。
4.根据权利要求1所述的碳化硅加工籽晶夹持装置，其特征在于：所述夹紧块(5)为等距对称设置。
5.根据权利要求1所述的碳化硅加工籽晶夹持装置，其特征在于：所述夹持后腔(9)和夹持腔(4)的尺寸相等。
6.根据权利要求1所述的碳化硅加工籽晶夹持装置，其特征在于：所述夹持柱体(1)的上部侧边设有观察口(8)。
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