[实用新型]隔振装置、物镜保护装置、投影物镜系统及光刻设备有效
| 申请号： | 201720773297.4 | 申请日： | 2017-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN207096677U | 公开（公告）日： | 2018-03-13 |
| 发明（设计）人： | 赵灿武;胡月;吴飞 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 装置 物镜 保护装置 投影 系统 光刻 设备 | ||
1.一种隔振装置，其特征在于，所述隔振装置包括柔性支座和限位支座，所述柔性支座与所述限位支座保持间隙；其中所述柔性支座与被支撑器件和底座间固定连接，所述限位支座与底座间固定相连而与所述被支撑器件物镜支架保持间隙。
2.如权利要求1所述的隔振装置，其特征在于，所述柔性支座的刚度小于等于所述限位支座的刚度。
3.如权利要求1所述的隔振装置，其特征在于，所述柔性支座的刚度与所述被支撑器件的质量属性相匹配，能够保证所述被支撑器件正常工况下的动力学稳定性。
4.如权利要求1所述的隔振装置，其特征在于，所述限位支座的刚度与所述被支撑器件最大4G加速度的冲击载荷相匹配。
5.如权利要求1所述的隔振装置，其特征在于，所述柔性支座与所述限位支座紧邻或邻近或同轴布置。
6.如权利要求1所述的隔振装置，其特征在于，所述限位支座和所述柔性支座是六自由度的柔性元件。
7.如权利要求1所述的隔振装置，其特征在于，所述限位支座和/或所述柔性支座是螺旋弹簧、碟形弹簧或柔性铰链。
8.如权利要求1所述的隔振装置，其特征在于，所述限位支座与所述柔性支座之间的间隙为0-0.1mm。
9.如权利要求1所述的隔振装置，其特征在于，所述限位支座与所述被支撑器件的间隙为0-0.2mm。
10.如权利要求1所述的隔振装置，其特征在于，所述被支撑器件在受外力震动条件下，所述被支撑器件通过万向螺栓组件连接在所述限位支座上。
11.如权利要求1所述的隔振装置，其特征在于，所述限位支座材料为高强度不锈钢。
12.如权利要求11所述的隔振装置，其特征在于，所述限位支座材料是4Cr13或1Cr17Ni9Al。
13.如权利要求1所述的隔振装置，其特征在于，所述被支撑器件为光刻设备的投影物镜。
14.一种物镜保护装置，其特征在于，所述物镜保护装置包括三组或更多组如权利要求1-13中任一项所述的隔振装置。
15.如权利要求14所述的物镜保护装置，其特征在于，对于圆柱形结构的物镜，所述三组或更多组隔振装置沿所述物镜支架的圆周均匀分布。
16.如权利要求14所述的物镜保护装置，其特征在于，对于多面体结构的物镜，所述三组隔振装置呈等腰三角形布置，并使所述物镜的中心与所述等腰三角形的中心重合。
17.一种投影物镜系统，其特征在于，包括投影物镜及物镜支架，以及如权利要求1-13所述的隔振装置，所述投影物镜安装于所述物镜支架，所述物镜支架与所述隔振装置相连。
18.一种光刻设备，包括投影物镜、主基板，其特征在于，还包括如权利要求1-13所述的隔振装置，所述底座固定安装于所述主基板上，所述被支撑器件为所述投影物镜。
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