[实用新型]一种基于微透镜阵列和振镜扫描的高速高分辨率LBIC设备

权利要求书

1.一种基于微透镜阵列和振镜扫描的高速高分辨率LBIC设备，包括连续激光器(1)、光纤准直器(3)、一号分光镜(5)、振镜(6)、场镜(7)、二维压电平移台(10)、二号分光镜(11)和相机(15)，其特征在于：所述连续激光器(1)的接口上插接有光纤(2)，光纤(2)的输出端插接在光纤准直器(3)上；所述光纤准直器(3)位于斩波器(4)的一侧，斩波器(4)的另一侧设置有一号分光镜(5)；所述一号分光镜(5)位于振镜(6)的一侧，光纤准直器(3)、斩波器(4)和一号分光镜(5)与振镜(6)设置在同一条直线上，振镜(6)设置在场镜(7)的上方；所述场镜(7)的下方设置有微透镜阵列(8)，微透镜阵列(8)位于样品(9)的上方，样品(9)位于二维压电平移台(10)的上方，振镜(6)、场镜(7)、微透镜阵列(8)均位于二维压电平移台(10)的上方，并与二维压电平移台(10)处在同一竖直轴线上；所述一号分光镜(5)的下方垂直设置有第一能量探头(12)，一号分光镜(5)的上方垂直设置有二号分光镜(11)；所述二号分光镜(11)的一侧设置有第二能量探头(13)，第二能量探头(13)位于第一能量探头(12)的上方；所述二号分光镜(11)的上方垂直设置有成像镜头(14)，成像镜头(14)位于相机(15)的下方，相机(15)、成像镜头(14)、二号分光镜(11)、一号分光镜(5)及第一能量探头(12)位于同一竖直轴线上。

2.根据权利要求1所述的一种基于微透镜阵列和振镜扫描的高速高分辨率LBIC设备，其特征在于：所述连续激光器(1)发射的探测激光依次通过振镜(6)、场镜(7)和微透镜阵列(8)聚焦在样品(9)表面。

3.根据权利要求1所述的一种基于微透镜阵列和振镜扫描的高速高分辨率LBIC设备，其特征在于：所述连续激光器(1)输出能量0～100mW连续可调。

4.根据权利要求1所述的一种基于微透镜阵列和振镜扫描的高速高分辨率LBIC设备，其特征在于：所述二维压电平移台(10)步进精度为纳米级，行程为百微米量级。

5.根据权利要求1所述的一种基于微透镜阵列和振镜扫描的高速高分辨率LBIC设备，其特征在于：所述微透镜阵列(8)直径小于二维压电平移台(10)最大行程。

6.根据权利要求1所述的一种基于微透镜阵列和振镜扫描的高速高分辨率LBIC设备，其特征在于：所述微透镜阵列(8)聚焦焦斑可达1微米。

7.根据权利要求1所述的一种基于微透镜阵列和振镜扫描的高速高分辨率LBIC设备，其特征在于：所述样品(9)表面位于微透镜阵列(8)的焦点上。

8.根据权利要求1所述的一种基于微透镜阵列和振镜扫描的高速高分辨率LBIC设备，其特征在于：所述微透镜阵列(8)分辨率不小于50*50。

9.根据权利要求1所述的一种基于微透镜阵列和振镜扫描的高速高分辨率LBIC设备，其特征在于：所述振镜(6)扫描光束均通过微透镜阵列(8)单个透镜的中心。

10.根据权利要求1所述的一种基于微透镜阵列和振镜扫描的高速高分辨率LBIC设备，其特征在于：所述相机(15)的光敏面和样品(9)表面满足物像共轭关系。

11.根据权利要求1所述的一种基于微透镜阵列和振镜扫描的高速高分辨率LBIC设备，其特征在于：所述一号分光镜(5)和二号分光镜(11)的分光比均为1:10。

12.根据权利要求1所述的一种基于微透镜阵列和振镜扫描的高速高分辨率LBIC设备，其特征在于：所述场镜(7)聚焦在微透镜阵列(8)的光斑尺寸小于微透镜阵列(8)单个透镜的直径。