[实用新型]一种硅片切割用槽轮绕线结构

说明书

本实用新型提供了一种硅片切割用槽轮绕线结构，包括两个槽轮及金刚线，两个所述槽轮中心线位于同一水平面，且该两个槽轮中心线互相平行设置，所述金刚线倾斜缠绕在两个槽轮间形成线网结构。本实用新型所述的一种硅片切割用槽轮绕线结构，通过该结构，使钢线与槽轮接触受力于一侧的某点，增加走线过程中钢线自身的旋转运动，使钢线四周的颗粒都可以起到切割作用，进而提高硅片品质。

技术领域

本实用新型属于硅片切割技术领域，尤其是涉及一种硅片切割用槽轮绕线结构。

背景技术

现有布线网方式如附图2-1所示，左右两个槽轮平行布线，钢线垂直下落，卡控在槽内，并与其内壁2个点接触(如图2-2)，切割过程中钢线平行走线，转动较少，只有单侧颗粒起到研磨切割作用，钢线其他侧颗粒未完全起到切割作用，导致切割能力不足，造成硅片TTV等参数异常。

发明内容

有鉴于此，本实用新型旨在提出一种硅片切割用槽轮绕线结构，由此有效降低TTV中位数，提高硅片品质。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种硅片切割用槽轮绕线结构，包括两个槽轮及金刚线，两个所述槽轮中心线位于同一水平面，且该两个槽轮中心线互相平行设置，所述金刚线倾斜缠绕在两个槽轮间形成线网结构。

进一步的，两个所述槽轮正对设置，金刚线与第一个槽轮的起始接触位置和金刚线与第二个槽轮的起始接触位置至少相差一个槽距离。

进一步的，所述金刚线和槽轮中心线间水平方向上锐角夹角为89.5-89.9°。

相对于现有技术，本实用新型所述的一种硅片切割用槽轮绕线结构具有以下优势：

本实用新型所述的一种硅片切割用槽轮绕线结构，通过该结构，使钢线与槽轮接触受力于一侧的某点，增加走线过程中钢线自身的旋转运动，使钢线四周的颗粒都可以起到切割作用，进而提高硅片品质。

附图说明

构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为现有绕线结构示意图；

图2为现有绕线结构中金刚线与槽轮槽接触图；

图3为本实施例所述的硅片切割用槽轮绕线结构示意图；

图4为本实施例所述的硅片切割用槽轮绕线结构中金刚线和槽轮槽接触图。

附图标记说明：

1-槽轮；2-金刚线。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。