[实用新型]拉曼光谱测试系统

权利要求书

1.一种拉曼光谱测试系统，包括广谱单色化模块、光路耦合与输出模块及信号检测模块，其特征在于：

广谱单色化模块，包括：

超连续白光源，用于输出广谱激发光；

单色化单元，用于将所述广谱激发光过滤为单色光；

光路耦合与输出模块，用于使所述单色光照射至样品表面，激发得到拉曼信号光；

信号检测模块，用于接收所述拉曼信号光进行检测，得到所述样品的拉曼光谱。

2.如权利要求1所述的拉曼光谱测试系统，其特征在于，所述单色化单元包括：

宽带通滤光片，用于选择出一定波长范围的所述广谱激发光；

光栅，用于使所述一定波长范围的广谱激发光色散为不同波长的单色光；

光阑，用于过滤所述不同波长的单色光，得到照射至样品表面的单色光。

3.如权利要求2所述的拉曼光谱测试系统，其特征在于，所述单色化单元还包括第一反射镜，用于使所述不同波长的单色光反射至所述光阑；优选地，所述光栅及第一反射镜置于同一个可旋转支架上，该可旋转支架用于调节所述光栅及第一反射镜相对于所述超连续白光源的偏转角度，改变所述不同波长的单色光反射至光阑的位置。

4.如权利要求3所述的拉曼光谱测试系统，其特征在于，所述单色光单元还包括至少一个可调谐窄带通滤光片，每一个所述可调谐窄带通滤光片置于一个能够调节其位置和偏摆角度的可旋转支架上，用于纯化所述照射至样品表面的单色光。

5.如权利要求2所述的拉曼光谱测试系统，其特征在于，所述宽带通滤光片的带通范围大于所述拉曼光谱共振轮廓半高全宽的二倍；所述光栅的工作范围与所述拉曼光谱共振轮廓的范围匹配；优选地，所述光栅包括透射光栅或反射光栅。

6.如权利要求1所述的拉曼光谱测试系统，其特征在于，所述光路耦合与输出模块包括：

分束器，用于使所述照射至样品表面的单色光入射至显微物镜；

显微物镜，用于将所述照射至样品表面的单色光聚焦至样品表面，激发得到拉曼信号光，以及收集样品表面反射的拉曼信号光以传输至分束器；

聚焦透镜，用于使所述拉曼信号光聚焦入射至所述信号检测模块。

7.如权利要求6所述的拉曼光谱测试系统，其特征在于，所述分束器置于竖直二维角度调整架上，用于使所述照射至样品表面的单色光准直入射至所述显微物镜。

8.如权利要求6所述的拉曼光谱测试系统，其特征在于，所述光路耦合与输出模块还包括：

至少一个可调谐边带滤光片，位于所述显微物镜和聚焦透镜之间，用于滤除样品表面反射拉曼信号光时携带的瑞利信号光。

9.如权利要求8所述的拉曼光谱测试系统，其特征在于，所述至少一个可调谐边带滤光片固定于设置在可旋转支架的二维竖直可调节架上，用于对所述至少一个可调谐边带滤光片的工作角度进行精细调节；优选地，所述可调谐边带滤光片对所述拉曼信号光的透过率大于等于90％；对所述瑞利信号光的透过率小于10^-6。

10.如权利要求6所述的拉曼光谱测试系统，其特征在于，所述光路耦合与输出模块还包括：

至少一个第二反射镜，每一个所述第二反射镜均置于一个竖直二维角度调节架上，用于使所述照射至样品表面的单色光反射至所述分束器的中心；

至少一个第三反射镜，用于使经由所述分束器的、样品表面反射的拉曼信号光射入所述聚焦透镜。

11.如权利要求6所述的拉曼光谱测试系统，其特征在于，所述聚焦透镜放置于三维调节架上，用于使拉曼信号光精确聚焦入射至所述信号检测模块。

12.如权利要求1所述的拉曼光谱测试系统，其特征在于，所述信号检测模块包括：

单光栅光谱仪，用于接收所述拉曼信号光进行检测，得到所述样品的拉曼光谱。