[实用新型]一种测试装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种测试装置。

背景技术

微型机电系统(Micro electromechanical Systems，简称MEMS)芯片是基于MEMS技术制造的芯片。随着信息技术(Information Technology，简称IT)的日益发展，MEMS芯片所占比重越来越大，被广泛应用于移动设备。因此，对MEMS芯片量产测试也提出了更高的要求。MEMS芯片晶圆级测试除了常规测试外，主要难点在于其集成的微小电容测试，这部分测试包括两部分：振膜与地之间漏电流测试及不同电压下电容测试。目前，这部分测试主要通过独立仪表完成，其中，漏电流测试通过高压源表完成，电容测试通过高压源表配合LRC测试仪完成。但是通过独立仪表进行漏电流测试及电容测试时，不能在同时对多个MEMS芯片进行测试，测试效率低。

实用新型内容

本实用新型提供一种测试装置，用于解决现有技术中通过独立仪表进行漏电流测试及电容测试时测试效率低的问题。

本实用新型提供了一种测试装置，包括：测试机台、测试电路板、待测器件；

所述测试机台，用于为所述测试电路板提供测试电源和测试信号；

所述测试电路板包括多个测试模块，每个测试模块包括电流测试通道和电容测试通道；

所述电流测试通道的一端与所述测试机台电连接，所述电流测试通道的另一端与待测器件电连接，所述电流测试通道用于在所述测试机台的作用下检测所述待测器件的漏电电流；

所述电容测试通道的一端与所述测试机台电连接，所述电容测试通道的另一端与所述待测器件电连接，所述电容测试通道用于在所述测试机台的作用下检测所述待测器件的电容。

可选地，所述测试机台包括电源仪表、信号发生器、信号采集器；

所述电源仪表与所述电流测试通道连接，用于为所述电流测试通道提供测试电源，并通过检测所述电流测试通道中的电流确定所述待测器件的漏电电流；

所述信号发生器与所述电容测试通道连接，用于为所述电容测试通道提供测试信号；

所述信号采集器与所述电容测试通道连接，用于采集所述电容测试通道输出的测试信号，并根据采集的测试信号确定所述待测器件的电容。

可选地，所述电容测试通道包括第一子测试通道和第二子测试通道；

所述第一子测试通道为所述信号发生器与所述信号采集器之间的通路；

所述第一子测试通道，用于采集所述信号发生器产生的测试信号的第一幅度值；

所述第二子测试通道的一端与所述信号发生器电连接，经所述待测器件后，所述第二子测试通道的另一端与所述信号采集器电连接；

所述第二子测试通道，用于在所述测试电路板与所述待测器件连接时采集所述信号发生器产生的测试信号经所述待测器件后的第二幅度值，还用于在所述测试电路板与所述待测器件未连接时采集所述信号发生器产生的测试信号经所述测试电路板的第三幅度值。

可选地，所述电流测试通道包括第一开关和第二开关；

所述第一开关的一端与所述电源仪表连接，所述第一开关的另一端与所述待测器件连接，所述第二开关的一端与所述待测器件连接，所述第二开关的另一端接地。

可选地，所述第一子测试通道包括第三开关；所述第二子测试通道包括第四开关、第五开关；

所述第三开关的一端与所述信号发生器连接，所述第三开关的另一端与所述信号采集器连接；

所述第四开关的一端与所述信号发生器连接，所述第四开关的另一端与第一节点电连接，所述第一节点位于所述第一开关与所述待测器件之间；

所述第五开关的一端与所述信号采集器电连接，所述第五开关的另一端与第二节点电连接，所述第二节点位于所述第二开关与所述待测器件之间。

可选地，所述电流测试通道包括第一开关；

所述第一开关的一端与所述电源仪表连接，所述第一开关的另一端与所述待测器件的第一输入端连接，所述待测器件的第一输出端通过所述电流测试通道接地。

可选地，所述第一子测试通道包括第三开关；所述第二子测试通道包括第四开关；

所述第三开关的一端与所述信号发生器连接，所述第三开关的另一端与所述信号采集器连接；

所述第四开关的一端与所述信号发生器连接，所述第四开关的另一端与所述待测器件的第二输入端连接，所述待测器件的第二输出端通过所述第二子测试通道与所述信号采集器连接。