[实用新型]坩埚、蒸发源及蒸镀设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及显示面板制造技术领域，尤其是指一种坩埚、蒸发源及蒸镀设备。

背景技术

随着各显示器制造公司不断的开发研究，有机发光二极管OLED显示器件的制作工艺越来越趋于成熟。OLED器件的制作方式主要有蒸镀、旋涂和喷墨打印等多种方式，其中，真空蒸镀为一种比较成熟的方法，已经运用于量产。

目前，OLED器件采用真空蒸镀方式制作时，多采用点源。在采用点源进行蒸镀的过程中，随着坩埚中蒸镀材料不断的变少，蒸镀材料的加热面积也逐渐减小，为了达到相同的材料蒸发速率，必须使坩埚的加热温度不断提高，然而随着坩埚的加热温度不断提高，会导致坩埚内蒸镀材料的性能发生变化，从而最终影响所制造OLED器件的性能。

实用新型内容

本实用新型技术方案的目的是提供一种坩埚、蒸发源及蒸镀设备，用于解决现有技术为了保证蒸镀过程中达到稳定材料蒸发速度，必须使坩埚的加热温度不断提高，从而导致坩埚内蒸镀材料的性能发生变化的问题。

本实用新型实施例提供一种坩埚，包括坩埚本体，其中，所述坩埚本体包括：

分别设置有加热元件的内加热层和外加热层，其中所述外加热层在所述内加热层的外围，围绕所述内加热层设置，所述外加热层与所述内加热层之间的空间形成为待蒸镀材料的容纳空间。

优选地，所述的坩埚，其中，所述坩埚本体的第一端面上设置有用于待蒸镀材料蒸发时离开所述坩埚本体的开口；其中，所述内加热层从与所述第一端面相对的第二端面朝所述第一端面延伸，且所述内加热层的远离所述第二端面的一端与所述第一端面之间具有预设距离。

优选地，所述的坩埚，其中，所述坩埚本体包括形成内部空间的壳体，其中所述外加热层与所述壳体相连接，所述内加热层设置于所述内部空间的中心位置。

优选地，所述的坩埚，其中，所述外加热层内设置相互分离的第一加热元件和第二加热元件，且沿着从所述第二端面到所述第一端面的方向，所述第一加热元件和所述第二加热元件依次排列。

优选地，所述的坩埚，其中，所述第一加热元件和所述第二加热元件分别为以所述内加热层为中心绕设的加热丝。

优选地，所述的坩埚，其中，所述第一加热元件和所述第二加热元件分别连接一加热源。

优选地，所述的坩埚，其中，所述内加热层内设置相互分离的第三加热元件和第四加热元件，且沿着从所述第二端面到所述第一端面的方向，所述第三加热元件和所述第四加热元件依次排列。

优选地，所述的坩埚，其中，所述第三加热元件和所述第四加热元件分别呈柱体形状。

优选地，所述的坩埚，其中，所述坩埚还包括：

导流罩，包括多个叶片；其中所述导流罩包括第一状态和第二状态；在所述第一状态，多个所述叶片收叠在所述内加热层与所述第一端面之间的空间，所述容纳空间与所述开口之间具有气流通路；在所述第二状态，多个所述叶片在所述坩埚本体的内部呈展开状态，遮挡部分所述气流通路；

联动结构，与所述导流罩相连接；通过所述联动结构，所述导流罩在所述第一状态与所述第二状态之间切换。

优选地，所述的坩埚，其中，在所述第二状态，多个所述叶片在所述坩埚本体的内部展开至位于同一平面，且相邻的所述叶片之间具有间隔空间。

优选地，所述的坩埚，其中，所述联动结构包括：

叶片底座，设置于所述内加热层与所述第一端面之间；

轴体，固定于所述叶片底座上，且朝所述第一端面的方向延伸；

轴套，套设于所述轴体上，且能够相对于所述轴体朝靠近或远离所述第一端面的方向移动；所述轴套与每一所述叶片相连接，通过所述轴套带动所述叶片朝靠近或远离所述第一端面的方向移动，所述导流罩在所述第一状态与所述第二状态之间切换；

驱动元件，与所述轴套连接，通过所述驱动元件，所述轴套能够相对于所述轴体朝靠近或远离所述第一端面的方向移动。

优选地，所述的坩埚，其中，所述驱动元件包括气压驱动件或者液压驱动件。

优选地，所述的坩埚，其中，与所述叶片底座相连接设置有挡把，所述挡把与所述叶片底座之间形成插设空间；

其中，所述导流罩在所述第一状态与所述第二状态之间切换时，每一所述叶片分别穿设于所述插设空间中。

本实用新型实施例还提供一种蒸发源，其中，包括如上任一项所述的坩埚。

本实用新型实施例还提供一种蒸镀设备，其中，包括如上所述的蒸发源。

本实用新型的一个或多个实施例至少具有以下有益效果：