[实用新型]改进型离子源发生装置

权利要求书

1.一种改进型离子源发生装置，包括离子源的靶体，靶体安装于靶体槽上；其特征在于：还包括反应源，所述靶体槽前端的A面上设有一凹孔，靶体安装于凹孔内，位于凹孔内的靶体前端与反应源前侧的B面始终保持面接触，所述反应源上设有一穿孔，还包括设置于反应源后侧并相对反应源固定的脉冲激光器，所述脉冲激光器射出的激光束穿过穿孔打在靶体的前端面上；所述靶体槽相对反应源的B面做自转运动，所述反应源相对靶体槽做纵向方向上的上下运动。

2.如权利要求1所述的改进型离子源发生装置，其特征在于：所述凹孔呈圆形。

3.如权利要求1所述的改进型离子源发生装置，其特征在于：所述凹孔的侧壁上设有螺纹孔，螺纹孔内设有锁止螺栓。

4.如权利要求1所述的改进型离子源发生装置，其特征在于：还包括第一驱动机构，所述第一驱动机构带动所述靶体槽做自转动作，所述第一驱动机构包括一固定于安装板上的第一驱动电机，所述第一驱动电机的输出轴与靶体槽同轴连接。

5.如权利要求4所述的改进型离子源发生装置，其特征在于：所述第一驱动机构还包括与第一驱动电机的输出轴同轴连接的一导向柱，所述导向柱的尾端设有一后挡板，还包括一套管，所述套管的内壁对称设有沿套管轴向设置的滑槽，所述导向柱的外壁上设有沿导向柱轴线方向对称设置的滑带，所述套管套在导向柱上，所述滑带匹配安装于滑槽内，所述套管可相对导向柱轴移动，与后挡板相向设置的套管的端部与后挡板间隔设置，套管的前端设有一前挡板，位于前挡板和后挡板之间的套管上套有弹簧，所述弹簧对所述套管施加向前的推力；所述靶体槽通过连杆同轴与套管的前端连接。

6.如权利要求5所述的改进型离子源发生装置，其特征在于：所述连杆上套有一直线轴承，所述直线轴承通过轴承套与安装板连接。

7.如权利要求6所述的改进型离子源发生装置，其特征在于：所述第一驱动机构还包括安装于底座上的第一磁板直线电机，位于第一磁板直线电机磁板上的动子与安装板连接，该动子静止时可以固定安装板，动子运动时带动安装板上的部件做靠近或远离反应源方向的水平运动。

8.如权利要求1所述的改进型离子源发生装置，其特征在于：还包括第二驱动机构，所述第二驱动机构包括纵向固定于底座上的第二磁板直线电机，反应源通过支架与第二磁板直线电机磁板上的动子连接，通过第二磁板直线电机磁板上的动子带动反应源做上下运动。