[实用新型]一种显微镜载物台

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体器件制造领域技术领域，具体为一种显微镜载物台。

背景技术

在半导体生产领域，尤其是半导体器件制造领域，生产过程中，经常需要将产品置于显微镜下检测和分析，由于产品本身对静电很敏感，极易受到静电放电的损伤，且样品表面往往比较脆弱，容易发生划伤。现有的显微镜载具往往不具有防静电和防划伤的能力，且受显微镜载物台尺寸的影响，无法普适于不同大小和形状的样品，同时显微镜载物台往往与显微镜为一体式结构，无法分离，为放取样品带来不便，使用不够灵活便捷。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提供了一种显微镜载物台，其安全可靠、可防止载物台静电荷聚集避免放在载物台上的产品受到静电放电的损伤，还可以避免产品表面划伤，取放产品方便，且普遍适用于于不同大小和形状的产品。

其技术方案是这样的：一种显微镜载物台，包括载物台，其特征在于：所述载物台为金属载物台，所述载物台表面涂有防静电涂层，所述载物台的中央设有贯穿所述载物台的通槽，所述通槽上设有透明面板，所述载物台的侧面设有接地引脚，所述载物台上设有载物架，所述载物架包括垂直安装在所述载物台上的竖轴，所述竖轴的上端连接横轴的一端，所述横轴能够以所述竖轴为圆心进行360度转动，所述横轴的另一端上设置有导电吸盘。

进一步的，所述透明面板为玻璃面板。

进一步的，在所述透明面板的四角的外侧分别设有所述载物架。

进一步的，所述横轴为可伸缩横轴。

进一步的，所述载物台的下表面的四角分别设有支撑脚。

进一步的，所述支撑脚为可伸缩支撑脚。

进一步的，所述支撑脚为金属支撑脚。

进一步的，所述竖轴的下端设有螺纹，所述载物台上对应设有螺孔，所述竖轴通过螺纹配合安装在所述载物台上。

进一步的，所述竖轴和所述横轴分别为金属竖轴和金属横轴。

本实用新型的显微镜载物台采用金属载物台，载物台的中心位置设有一块透明面板，使光线可以从载物台的下方透射到载物台的上方，可用显微镜操作使用，载物台下端四角设置有金属支撑脚，与载物台可形成良好的接触，以实现静电泄放通道，物台的侧面设有接地引脚，实现有效的接地，可防止载物台静电荷聚集避免放在载物台上的产品受到静电放电的损伤；载物台上通过设置可调节的载物架，载物架的竖轴的安装高度可以调节，横轴的长度可以调节且横轴可以进行360度旋转，使得载物架的垂直方向的高度和水平方向的长度都可以调节，导电吸盘用于固定产品，通过多个可调节载物架可实现固定各种尺寸和形状的产品，取放产品方便，而不会导致样品的大面积划伤。

附图说明

图1是本实用新型的显微镜载物的结构示意图；

图2是本实用新型的载物架的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

见图1、图2，本实用新型的一种显微镜载物台，包括载物台1，在本实施例中载物台1呈矩形，载物台1为金属载物台，载物台1表面涂有防静电涂层，载物台1的中央设有贯穿载物台的通槽，通槽上设有透明面板2，在本实施例中透明面板2为玻璃面板，载物台1的侧面设有接地引脚3，载物台上的透明面板的四角的外侧分别设有载物架4，载物架包括垂直安装在载物台1上的竖轴5，竖轴5的下端设有螺纹9，载物台1上对应设有螺孔，竖轴5通过螺纹配合安装在载物台1上，竖轴5的上端连接横轴6的一端，横轴6能够以竖轴5为圆心进行360度转动，横轴6的另一端上设置有导电吸盘7，横轴6的为可伸缩横轴，横轴6的长度可以调节，载物台1的下表面的四角分别设有金属支撑脚8，金属支撑脚8为可伸缩支撑脚，金属支撑脚8的高度可以调节。