[实用新型]一种大带宽电光调制器

权利要求书

1.一种大带宽电光调制器，其特征在于：所述电光调制器为具有周期结构波导的相位调制器、马赫-曾德型电光强度调制器和微环谐振腔型电光强度调制器，用调制电极向周期结构波导周围的电光材料施加电场实现光相位或者强度的调制，调制电极不与周期结构波导形成电连接；所述的周期结构波导是由波导结构单元沿传输方向以相同周期或者变化周期布置的波导结构。

2.根据权利要求1所述的一种大带宽电光调制器，其特征在于：所述具有周期结构波导的相位调制器包括包层结构及其被包覆在包层结构内的输入波导(1)、周期结构波导(4)、第一调制电极(5a)、第二调制电极(5b)和输出波导(8)；输入波导(1)、周期结构波导(4)和输出波导(8)依次相连，第一调制电极(5a)和第二调制电极(5b)分别位于周期结构波导(4)附近。

3.根据权利要求1所述的一种大带宽电光调制器，其特征在于：所述的具有周期结构波导的马赫-曾德型电光强度调制器包括包层结构及其被包覆在包层结构内的输入波导(1)、功率分配器(2)、第一连接波导(3a)、第二连接波导(3b)、第一周期结构波导(4a)、第二周期结构波导(4b)、第一调制电极(5a)、第二调制电极(5b)、第三调制电极(5c)、第三连接波导(6a)、第四连接波导(6b)、功率合束器(7)和输出波导(8)；输入波导(1)和功率分配器(2)的输入端口相连，功率分配器(2)的两个输出端口分别和第一连接波导(3a)、第二连接波导(3b)输入端相连，第一连接波导(3a)输出端经第一周期结构波导(4a)和第三连接波导(6a)输入端连接，第二连接波导(3b)输出端经第二周期结构波导(4b)和第四连接波导(6b)输入端连接，第三连接波导(6a)、第四连接波导(6b)输出端分别和功率合束器(7)的两个输入端口相连，功率合束器(7)输出端口和输出波导(8)相连；第一调制电极(5a)和第二调制电极(5b)分别位于第一周期结构波导(4a)附近的两侧，并且第二调制电极(5b)和第三调制电极(5c)分别位于第二周期结构波导(4b)附近。

4.根据权利要求1所述的一种大带宽电光调制器，其特征在于：所述的具有周期结构波导的微环谐振腔型电光强度调制器包括包层结构及其被包覆在包层结构内的输入波导(1)、第一耦合波导(9a)、第二耦合波导(9b)、周期结构波导(4)、第一调制电极(5a)、第二调制电极(5b)和输出波导(8)；输入波导(1)、第一耦合波导(9a)和输出波导(8)依次相连，第一耦合波导(9a)和第二耦合波导(9b)相耦合布置，第二耦合波导(9b)和周期结构波导(4)首尾相连形成一个微环谐振腔；第一调制电极(5a)和第二调制电极(5b)分别布置在周期结构波导(4)附近。

5.根据权利要求2-4任一所述的一种大带宽电光调制器，其特征在于：所述包层结构为具有对称或者非对称波导截面的包层结构。

6.根据权利要求5所述的一种大带宽电光调制器，其特征在于：所述包层结构主要由上包层(100)和下包层(102)构成，上包层(100)和下包层(102)折射率相等。

7.根据权利要求6所述的一种大带宽电光调制器，其特征在于：所述包层结构在传输截面上以芯层(101)为中心上下不对称或者左右不对称，不对称是指折射率不同，或者厚度和宽度中至少有一个不相同。

8.根据权利要求2-4任一所述的一种大带宽电光调制器，其特征在于：各个所述波导作为芯层(101)，为非脊型波导或者脊型波导；当为脊型波导时，脊型的两侧或者一侧被刻蚀。

9.根据权利要求2-4任一所述的一种大带宽电光调制器，其特征在于：所述包层结构主要由覆盖于芯层(101)之上的上包层(100)和位于芯层(101)之下的下包层(102)构成，以波导为芯层(101)；所述的各个调制电极施加的电场穿过波导区域，调制电极同时位于上包层(100)上部、上包层(100)内部、下包层(102)内部或者下包层(102)下部，或者各个所述调制电极分别位于上包层(100)上部、上包层(100)内部、下包层(102)内部和下包层(102)下部中的多个不同位置。