[实用新型]光刻设备绿色生态基座

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种光刻设备基座。

背景技术

目前，基座在实际的制作过程中欲控制钢铁埋件的位置与高度且又须预留后续将浇灌环氧树脂的厚度，其制作程序复杂而且耗时，若钢铁配件的安装位精确度不符合需求，极可能影响以后此基座上所承载设备的安装时程与日后生产的良率。

且混凝土表面必须粉刷抹平耗费人力，而为使基座表面平整且避免混凝土发生粉尘，必须浇灌经常因天气的温度与湿度影响的自平环氧树脂(epoxy)，既耗费人力亦受气候影响难以掌控制程进度，另外，传统混凝土制备消耗大量砂石料，成本较高。

实用新型内容

根据上述提出的技术问题，而提供一种光刻设备绿色生态基座，用于解决现有的基座制作程序复杂而且耗时，若钢铁配件的安装位精确度不符合需求，极可能影响以后此基座上所承载设备的安装时程与日后生产的良率的缺点。本实用新型采用的技术手段如下：

一种光刻设备绿色生态基座，包括：框体结构、钢筋结构和混凝土；所述的框体结构包括钢板焊接而成的长方体框架和箱体；所述的长方体框架设置于四角具有钢铁埋件的平台上，所述平台的上表面设置有用于固定长方体框架的固定件；所述的钢筋结构设置于框体结构内部；所述的钢筋结构为水平钢筋和垂直钢筋相互交叉连接而成的架体，所述的垂直钢筋设置于所述的箱体外壁和长方体框架内壁之间；所述的长方体框架内壁、箱体外壁和钢筋结构间填充有尾矿、废石制备的混凝土。

作为优选所述的钢铁埋件为角钢，使所述长方体框架的四个角的底部外壁同所述角钢内壁限位固定，所述的固定件设置有四个，分别紧贴所述长方体框架内壁设置。

作为优选所述的箱体为圆形箱体，所述箱体的直径为α，所述框体结构的宽度为β，β-α≥260mm。

作为优选所述光刻设备绿色生态基座表面具有喷漆涂层。

作为优选所述该混凝土每立方米中各组分重量为：粒度为0.2mm～2mm的尾矿180kg～200kg、粒度为5mm～10mm的废石1600kg～1800kg、水泥180kg～200kg、矿粉200kg～240kg、聚羧酸高效减水剂1.2kg～1.3kg。

作为优选所述的水平钢筋水平方向横竖组成网格状架体，相邻的所述水平钢筋间的间隙为180mm-220mm，所述的垂直钢筋在水平钢筋的交叉节点上竖直设置，相邻的所述垂直钢筋的间距为180mm-220mm。

作为优选相邻的所述水平钢筋间的间隙为200mm，所述水平钢筋的直径为12mm；相邻的所述垂直钢筋的间距为200mm，所述垂直钢筋的直径为12mm。

与现有技术相比较，本实用新型所述的光刻设备绿色生态基座，采用圆形空间结构，基座强度更高，且采用尾矿、废石制备的混凝土，替代砂石料，制作成本低，性能更好，混凝土表面钢板包裹，无需粉刷抹平，能满足光刻设备高等级防微振性能和洁净室无粉尘要求。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

图1是本实用新型平台立体示意图。

图2是本实用新型平台与框体结构及箱体的组合示意图。

图3是本实用新型框体结构与平台组合示意图。

图4是本实用新型框体结构与平台拆卸示意图。

其中：1、基座，10、框体结构，20、钢筋结构，30、混凝土，101、钢板，102、箱体，11、平台，111、钢铁埋件，112、固定件，21、水平钢筋，22、垂直钢筋。

具体实施方式

如图1到图4所示，一种光刻设备绿色生态基座，包括：框体结构10、钢筋结构20和混凝土30；所述的框体结构10包括多块钢板101焊接而成的长方体框架和箱体102；所述的箱体102为圆形箱体，圆形抗压能力最强。设置箱体102的目的是要减轻整个基座的重量，但同时不能降低基座的抗压和抗弯曲的能力，根据整体基座的大小来设置箱体102的数量。

所述箱体102的直径为α，所述框体结构的宽度为β，β-α≥260mm，箱体102的尺寸比基座的宽度小260mm，保证基座壁厚最少为130mm，来达到基座强度不变的情况下，重量最轻。

所述的长方体框架设置于四角具有钢铁埋件112的平台11上，所述平台11的上表面设置有用于固定长方体框架的固定件112；所述的钢铁埋件111为角钢，使所述长方体框架的四个角的底部外壁同所述角钢内壁限位固定，所述的固定件112设置有四个，分别紧贴所述长方体框架内壁设置。