[实用新型]流体加热器的连接装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种流体加热器的连接装置。

背景技术

半导体是一种精密复杂的电子元件，该类高科技电子元件在半导体工业制造的方法，多在硅半导体上应用氧化层成长、蚀刻、清洗等技术，制成功能完整的晶圆。此类制造技术因常用到具有毒性的气体及化学液体，因此，若作业空间防护不良或设备妥善度不佳，将会直接影响作业人员的人身安全。

上述制程中，腐蚀性强酸的流体(包括液体及气体)会通过热交换器被提高温度或浓度，以加速强酸在制程中的反应效率。习用的热交换动作，通常是在强酸流体的管路上串联一蒸汽加热器，该蒸汽加热器与强酸管路组接的两侧端面、强酸管道或连结构件直接承受高温、强酸的作用。然而习用热交换器耐腐蚀的能力及耐高温能力不佳，导致容易在二相邻构件的结合处因锈蚀而发生泄漏的不良情形，影响工作安全甚巨。另一方面，连结构件因无法维修需整组替换，无疑增加业者的生产成本。

如图1所示，为习知高温流体连结构件的使用状态图，较佳的连结构件91一般选用一机械法兰，将其直接锁固于半导体设备9上，利用法兰本身的高耐受性及密封性，良好的传导高温或强酸的流体。然而连结构件91的输入端911方位无法配合加热器的输出端921，故需额外连接一转向管体93，非常占用空间。另外，即使连结构件91本身可耐热密封，但连结构件91直接设置于半导体设备9上，两者之间的缝隙仍须使用密封垫圈94，故容易因阻挡高温或强酸流体的动作，加剧密封垫圈94的损坏情形，而徒增密封垫圈94的损耗及增加泄漏的风险。

所以，要如何解决上述习用的问题与缺失，即为本实用新型的申请人与从事此行业的相关厂商所亟欲研究改善的方向所在。

故，本实用新型的申请人有鉴于上述缺失，乃搜集相关资料，经由多方评估及考虑，并以从事于此行业累积的多年经验，经由不断试作及修改，终设计出本实用新型。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种可缩小占用体积、有效避免高温流体泄漏，以快速导引高温流体的流体加热器的连接装置。

基于此，本实用新型主要采用下列技术手段，来实现上述目的。

一种流体加热器的连接装置，包含：一第一密封件；一设于该第一密封件上且供输入高温流体的输入管体；一设于该第一密封件背离该输入管体一侧的第二密封件，连通该第一密封件；一设于该第二密封件上且供输出高温流体的输出管体；至少一设于该输出管体内的第三密封件；一设于该输出管体内且压制于该第三密封件上的紧迫元件；一设于该输出管体上且供稳固该紧迫元件压制动作的固定件；至少一设于该第一密封件与该第二密封件间的第一耐热垫体；及至少一设于该第二密封件背离该第一耐热垫体一侧的第二垫体，且该第二垫体环绕于该输出管体的输出端外侧。

进一步，该输入管体包含一枢设于该第一密封件上的旋转座。

进一步，该第一密封件邻近该第二密封件一侧具有至少一第一紧迫部，使该第一耐热垫体发生形变而密封该第一密封件与该第一耐热垫体间的间隙。

进一步，该第二密封件邻近该第一密封件一侧具有至少一第二紧迫部，使该第一耐热垫体发生形变而密封该第二密封件与该第一耐热垫体间的间隙。

进一步，该第一耐热垫体形变形成至少一斜切面。

进一步，该输出管体内具有一石英管，该石英管两端分别连接该输入管体及一半导体设备。

进一步，该输入管体上设有至少一弯折段。

进一步，该第一密封件上具有多个第一锁固孔，且该第二密封件上具有多个位置对应各第一锁固孔的第二锁固孔。

进一步，该第二密封件上具有多个定位孔，固定于一半导体设备。

进一步，该第一耐热垫体为无氧铜垫片，且该第一密封件及该第二密封件为法兰。

本实用新型通过第一耐热垫体确实防堵流体外泄，并提供长效密封效果，而快速导出流体，利用紧迫件压制第三密封件，使其由输出管体内侧进行密封，防止高温流体侧漏，当使用者将本实用新型做为流体加热器的连接装置时，利用第一、第二密封件压合一第一耐热垫体，借紧迫该第一耐热垫体的动作，防止高温流体泄漏，并利用紧迫元件压制第三密封件，以及固定件的稳固效果，使第三密封件由输出管体内侧进行密封，而让高温流体快速流出第二密封件，而减少第二垫体的受热程度，以降低第一耐热垫体及第二垫体的耗损率，且利用弯折段改变输入管体的连接方向，缩小连接结构所占用的体积，并增加连接装置的组装便利性。

借由上述技术，可针对习用高温流体连结构件所存在的需额外设置一转向管体导致体积较大、及衔接处的密封垫圈容易受热损坏等问题点加以突破，达到上述优点的实用性和进步性。