[实用新型]一种用于人工晶体的生长装置

权利要求书

1.一种用于人工晶体的生长装置，其特征在于：包括托盘、多个沿圆周方向环绕的设于所述托盘上的坩埚、设于所述托盘上方的具有用于容纳多个所述坩埚的中空腔体的保温机构、设于所述保温机构中的位于多个所述坩埚外侧周部的外加热器、设于所述保温机构中的位于多个所述坩埚环绕中心的中心加热器。

2.根据权利要求1所述的一种用于人工晶体的生长装置，其特征在于：所述生长装置还包括设于所述保温机构中的位于多个所述坩埚环绕中心的保温套，所述中心加热器设于所述保温套上。

3.根据权利要求2所述的一种用于人工晶体的生长装置，其特征在于：所述中心加热器有多个，多个所述中心加热器与多个所述坩埚一一对应的环设于所述保温套上。

4.根据权利要求1所述的一种用于人工晶体的生长装置，其特征在于：所述中心加热器包括至少两段沿竖直方向依次分布的加热单元。

5.根据权利要求1所述的一种用于人工晶体的生长装置，其特征在于：所述保温机构包括套设于多个所述坩埚外侧周部的保温筒、设于所述保温筒顶部的保温盖、设于所述保温筒底部的保温板，所述外加热器设于所述保温筒的内侧周部。

6.根据权利要求5所述的一种用于人工晶体的生长装置，其特征在于：所述外加热器有多个，多个所述外加热器与多个所述坩埚一一对应的环设于所述保温筒上。

7.根据权利要求5所述的一种用于人工晶体的生长装置，其特征在于：所述生长装置还包括多个设于所述托盘上的用于一一对应的支撑所述坩埚的支撑杆。

8.根据权利要求7所述的一种用于人工晶体的生长装置，其特征在于：多个所述支撑杆沿圆周方向环绕的设于所述托盘上，所述保温板上开设有用于让多个所述支撑杆穿过的环形间隙。

9.根据权利要求7所述的一种用于人工晶体的生长装置，其特征在于：所述生长装置还包括与所述托盘同轴连接的设于所述托盘下方的转轴、用于驱动所述转轴绕自身轴心线方向转动的驱动机构。

10.根据权利要求9所述的一种用于人工晶体的生长装置，其特征在于：所述生长装置还包括用于包裹所述保温机构、所述托盘的保温罩，所述转轴绕自身轴心线方向转动的穿设于所述保温罩中。