[实用新型]一种分离式扩散炉有效

专利信息
申请号: 201720838585.3 申请日: 2017-07-10
公开(公告)号: CN207600192U 公开(公告)日: 2018-07-10
发明(设计)人: 初亚东 申请(专利权)人: 天津天物金佰微电子有限公司
主分类号: F27B17/00 分类号: F27B17/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 300380 天津市*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 隔热板 固定仓 加热仓 电路 炉体 扩散炉 本实用新型 降温控制器 温度感应器 降温风扇 炉体支撑 加热层 连接头 侧壁 热偶 热排 加热稳定性 依次相连 分隔板 热干扰 组设置 炉管 分割
【说明书】:

本实用新型提供一种分离式扩散炉,包括炉体支撑壳、炉体隔热板、加热层隔热板、加热仓、电路固定仓、独立热排口、热偶连接头、降温风扇组、温度感应器和降温控制器,所述炉体支撑壳被所述炉体隔热板和所述加热层隔热板分割出一个所述电路固定仓和多个所述加热仓,多个所述加热仓由上至下依次相连,所述电路固定仓与所述加热仓并排相连并由所述炉体隔热板作为分隔板,所述独立热排口设置在所述加热仓的侧壁上,所述炉体隔热板上设置有多个所述热偶连接头,所述降温风扇组设置在所述电路固定仓的侧壁上,所述温度感应器和所述降温控制器均设置在所述电路固定仓内。本实用新型的有益效果是提高扩散炉的加热稳定性,有效降低了炉管之间的热干扰。

技术领域

本实用新型属于扩散炉结构设计技术领域,尤其是涉及一种分离式扩散炉。

背景技术

在现有的技术中,普通的扩散炉一般都是采用单炉仓结构,即一个扩散炉只能够对单一温度进行加热,不能够对不同温度进行加热,大大限制了扩散炉的使用,而且传统的扩散炉内的温度变化较为剧烈,容易造成控温补偿干扰。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种分离式扩散炉,该扩散炉将每个炉管的工作区域隔离,形成单独炉体区域,避免炉管之间的热干扰。

为达上述目的,本实用新型采用的技术方案是:一种分离式扩散炉,包括炉体支撑壳、炉体隔热板、加热层隔热板、加热仓、电路固定仓、独立热排口、热偶连接头、降温风扇组、温度感应器和降温控制器,其特征在于:所述炉体支撑壳被所述炉体隔热板和所述加热层隔热板分割出一个所述电路固定仓和多个所述加热仓,多个所述加热仓由上至下依次相连,所述电路固定仓与所述加热仓并排相连并由所述炉体隔热板作为分隔板,所述独立热排口设置在所述加热仓的侧壁上,所述炉体隔热板上设置有多个所述热偶连接头,所述降温风扇组设置在所述电路固定仓的侧壁上,所述温度感应器和所述降温控制器均设置在所述电路固定仓内。

优选地,设置在所述电路固定仓内的所述炉体隔热板的侧壁上设置有波浪形金属散热板。

优选地,所述降温风扇组与所述降温控制器相连,所述降温控制器与所述温度感应器相连。

本实用新型具有的优点和积极效果是:由于采用上述技术方案,使得该扩散炉具有多个独立的炉体加热区域,能够有效避免炉管之间的热干扰,而且该扩散炉增加了线路夹层,避免了由于炉体区域温度变化剧烈带来的控温补偿干扰,同时利用温度感应器能够对电路固定仓内的温度进行自动降温,一旦电路固定仓内温度升温将实现自动停止加热,有效提高了电路固定仓的使用安全性。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图;

图中:1、炉体支撑壳;2、炉体隔热板;3、加热层隔热板;4、加热仓;5、电路固定仓;6、独立热排口;7、热偶连接头;8、降温风扇组;9、温度感应器;10、降温控制器。

具体实施方式

下面对照附图,通过对实施例的描述,对本实用新型的具体实施方式,如所涉及的各构件的形状、构造、各部分之间的相互位置及连接关系、各部分的作用及工作原理等作进一步的详细说明。

如图1所示,本实用新型提供一种分离式扩散炉,包括炉体支撑壳1、炉体隔热板2、加热层隔热板3、加热仓4、电路固定仓5、独立热排口6、热偶连接头7、降温风扇组8、温度感应器9和降温控制器10,炉体支撑壳1被炉体隔热板2和加热层隔热板3分割出一个电路固定仓5和多个加热仓4,多个加热仓4由上至下依次相连,电路固定仓5与加热仓4并排相连并由炉体隔热板2作为分隔板,独立热排口6设置在加热仓4的侧壁上,炉体隔热板2上设置有多个热偶连接头7,降温风扇组8设置在电路固定仓5的侧壁上,温度感应器9和降温控制器10均设置在电路固定仓5内。

优选地,设置在电路固定仓5内的炉体隔热板2的侧壁上设置有波浪形金属散热板。

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