[实用新型]一种高真空环境下扫描探针换针装置有效
| 申请号： | 201720846452.0 | 申请日： | 2017-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN206960509U | 公开（公告）日： | 2018-02-02 |
| 发明（设计）人： | 董国材;张祥 | 申请（专利权）人： | 常州国成新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/16 | 分类号： | G01Q60/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213149 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 环境 扫描 探针 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种高真空环境下扫描探针换针装置，其特征在于，包括扫描管探针固定头、探针架和探针架携带架。
2.如权利要求1所述的一种高真空环境下扫描探针换针装置，其特征在于，所述扫描管探针固定头包括磁铁、电极接触片。
3.如权利要求1所述的一种高真空环境下扫描探针换针装置，其特征在于，所述探针架包括铁磁板、针尖固定管、电极接触环。
4.如权利要求1所述的一种高真空环境下扫描探针换针装置，其特征在于，所述探针架携带架包括通孔、限位装置和抓取手柄。
5.如权利要求1所述的一种高真空环境下扫描探针换针装置，其特征在于，所述扫描探针固定头、探针架和探针架携带架的表面镀有一层抗氧化导电层，该镀层为金、银、铂、铱中的一种。
6.如权利要求3所述的一种高真空环境下扫描探针换针装置，其特征在于，所述探针架中的针尖固定管为空心圆柱形，用来放置针尖托。
7.如权利要求4所述的一种高真空环境下扫描探针换针装置，其特征在于，所述限位装置为上下两个台阶面，探针架的铁磁板可卡于限位装置的两个台阶面上。
8.如权利要求4所述的一种高真空环境下扫描探针换针装置，其特征在于，所述通孔用来放置吸附件，吸附件为磁铁。
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