[实用新型]晶圆定位激光二极管平行光源发射装置有效

专利信息
申请号: 201720849076.0 申请日: 2017-07-13
公开(公告)号: CN206946113U 公开(公告)日: 2018-01-30
发明(设计)人: 张德培 申请(专利权)人: 上海陛通半导体能源科技股份有限公司
主分类号: G02B27/30 分类号: G02B27/30
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201203 上海市浦东新区郭*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 定位 激光二极管 平行 光源 发射 装置
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及半导体晶圆制造领域,尤其涉及晶圆定位激光二极管平行光源发射装置。

背景技术

在半导体晶圆制造领域,晶圆生产需要经过多个步骤,晶圆需要从控制腔到冷却腔,再到反应腔等多个环节,在此过程中如何精确定位晶圆位置至关重要,现常用的是采用光学方法定位晶圆位置,其中关键点即发射出平行光源,用过晶圆定位。

本实用新型设计一款晶圆定位激光二极管平行光源发射装置,通过精准的发射出平行光源,用于晶圆定位。

发明内容

本实用新型设计一款晶圆定位激光二极管平行光源发射装置,通过发射出的平行光源,确定位晶圆位置。

为实现上述目的,本实用新型所提供的技术方案是:晶圆定位激光二极管平行光源发射装置,包括激光二极管、透镜上卡槽、平凸透镜一、外筒圆柱、平凸透镜二、透镜下卡槽、内筒圆柱、平凸透镜三和盖板。所述的外筒圆柱内有上下两个阶梯形槽,上梯形槽用于放置平凸透镜一,下梯形槽用于放置平凸透镜二;所述的透镜上卡槽与外筒圆柱相连,透镜上卡槽内有贯穿孔洞,用于固定激光二极管;所述的透镜下卡槽内有椭圆形槽并有穿孔,透镜下卡槽放置在外筒圆柱内;所述的内筒圆柱,外形呈圆环状,表面做黑化处理呈黑色,以防止光线反射,内筒圆柱放置在外筒圆柱内;所述的平凸透镜三放置在外筒圆柱底部端口,通过盖板与外筒圆柱固定。

所述的平凸透镜一和平凸透镜二采用同一型号平凸透镜,且放置在外筒圆柱梯形卡槽内,确保俩透镜当凸的一面相对时,焦距在同一位置,从而确保光源呈平行光射出。

本实用新型的使用方法和有益效果是:

使用方法:首先,将激光二极管固定在透镜上卡槽穿孔中,将平凸透镜一放置在外筒圆柱上梯形卡槽内,将平凸透镜一凸的一面朝外筒圆柱内,然后将透镜上卡槽也放置在外筒圆柱上梯形卡槽内,并压在平凸透镜一上固定。其次,将平凸透镜二放置在外筒圆柱下梯形卡槽内,且将透镜凸的一面朝平凸透镜一方向,然后将透镜下卡槽放置在外筒圆柱内,用于压住平凸透镜二;最后,将内筒圆柱放置在外筒圆柱内,紧压在透镜下卡槽上,将平凸透镜三放置在外筒圆柱底部端口,用盖板固定。

本实用新型有益效果是:设计一款晶圆定位激光二极管平行光源发射装置,通过巧妙的机械设计和光学透镜的组合,发射出平行光源,用于在生产中定位晶圆位置。

附图说明

图1为晶圆定位激光二极管平行光源发射装置整体结构示意图;

图2为晶圆定位激光二极管平行光源发射装置中透镜上卡槽示意图;

图3为晶圆定位激光二极管平行光源发射装置中外筒圆柱剖面图;

图4为晶圆定位激光二极管平行光源发射装置中透镜下卡槽示意图;

1.激光二极管;2.透镜上卡槽;3.平凸透镜一;4.外筒圆柱;5.平凸透镜二; 6.透镜下卡槽;7.内筒圆柱;8.平凸透镜三; 9.盖板。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步说明。

本实用新型较佳实施例为:参见附图1、附图2、附图3和附图4。本实例为晶圆定位激光二极管平行光源发射装置,包括激光二极管1、透镜上卡槽2、平凸透镜一3、外筒圆柱4、平凸透镜二5、透镜下卡槽6、内筒圆柱7、平凸透镜三8和盖板9。所述的外筒圆柱4内有上下两个阶梯形槽,上梯形槽用于放置平凸透镜一3,下梯形槽用于放置平凸透镜二5;所述的透镜上卡槽2与外筒圆柱4相连,透镜上卡槽2内有贯穿孔洞,用于固定激光二极管1;所述的透镜下卡槽6内有椭圆形槽并有穿孔,透镜下卡槽6放置在外筒圆柱4内;所述的内筒圆柱7,外形呈圆环状,表面做黑化处理呈黑色,以防止光线反射,内筒圆柱7放置在外筒圆柱4内;所述的平凸透镜三8放置在外筒圆柱4底部端口,通过盖板9与外筒圆柱4固定。

装配时,首先,将激光二极管1固定在透镜上卡槽2穿孔中,将平凸透镜一3放置在外筒圆柱4上梯形卡槽内,将平凸透镜一3凸的一面朝外筒圆柱4内,然后将透镜上卡槽2也放置在外筒圆柱4上梯形卡槽内,并压在平凸透镜一3上固定。其次,将平凸透镜二5放置在外筒圆柱4下梯形卡槽内,且将透镜凸的一面朝平凸透镜一3方向,然后将透镜下卡槽6放置在外筒圆柱4内,用于压住平凸透镜二5;最后,将内筒圆柱7放置在外筒圆柱4内,紧压在透镜下卡槽6上,将平凸透镜三8放置在外筒圆柱4底部端口,用盖板9固定。

以上所述实例只为本实用新型之较佳实例,并非以此限制本实用新型的实施范围。故任何在上述实施方式的精神和原则内所做的修改、等同替换和改进等,均应包含在该实用新型的保护范围内。

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