[实用新型]一种近红外到中红外宽带增透膜

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种近红外到中红外宽带增透膜，属于增透膜领域。

背景技术

增透膜又称减反射膜，沉积在光学元件表面,以减少表面反射、增加光学系统透过率的光学薄膜，它可以通过减少系统中的散射光来提高对比度。

现有的增透膜存在透波段窄、反射率高、膜层间应力不匹配、膜层附着力差等缺陷。

实用新型内容

为了解决现有技术中透波段窄、反射率高、膜层间应力不匹配、膜层附着力差等缺陷，本实用新型提供一种近红外到中红外宽带增透膜。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案如下：

一种近红外到中红外宽带增透膜，包括顺序相接的ZnSe基底层、第一YF₃层和第一复合层，或包括顺序相接的第一复合层、第一YF₃层、ZnSe基底层、第二YF₃层和第二复合层；第一复合层和第二复合层均包括相互交替的锌化合物层和MgF₂层，其中，锌化合物层为ZnS层或ZnSe层；第一复合层和第二复合层中的锌化合物层均有2-5层。

上述近红外到中红外宽带增透膜具有透波段宽、反射率低、膜层间应力匹配、膜层附着力好等优势。

为了进一步提高增透效果，近红外到中红外宽带增透膜，包括顺序相接的第一复合层、第一YF₃层、ZnSe基底层、第二YF₃层和第二复合层。也即在ZnSe基底层的双面都复合增透膜。

本申请增透膜的透波段为1-5微米，优选为，透波段为1-3微米。本领域，波段每拓宽0.1微米都是非常难的技术。

为了进一步提高近红外到中红外宽带增透膜的附着力，同时拓宽透波段，锌化合物层为ZnS层。ZnS成本低、性能好。

为了提高近红外到中红外宽带增透膜的增透性能，近红外到中红外宽带增透膜的最外层为MgF₂层。

从ZnSe基底层到YF₃层的方向为从内到外的方向。

为了提高近红外到中红外宽带增透膜的增透性能和附着力，锌化合物层与YF₃层相邻。本申请相邻指所提及两层相接触、相贴合，之间没有其他物质。

为了保证近红外到中红外宽带增透膜增透效果的同时，降低成本，近红外到中红外宽带增透膜包括顺序相接的第一MgF₂层一、第一ZnS层一、第一MgF₂层二、第一ZnS层二、第一MgF₂层三、第一ZnS层三、第一YF₃层、ZnSe基底层、第二YF₃层、第二ZnS层一、第二MgF₂层一、第二ZnS层二、第二MgF₂层二、第二ZnS层三和第二MgF₂层三。

上述采用三种材料在基底层的任意一面交替蒸镀的总层数为7层，在1-3微米波段的单面平均反射率可达小于等于1％，双面镀膜(双面镀相同的7层膜)的平均透过率大于等于98％。其中YF₃层的材料选取非常关键，直接影响着所得膜层的附着力和耐刮擦性能。

为了兼顾近红外到中红外宽带增透膜的增透性能和附着力，第二ZnS层一、第二ZnS层二和第二ZnS层三的厚度依次减小，第一ZnS层一、第一ZnS层二和第一ZnS层三的厚度依次递增；第二MgF₂层一、第二MgF₂层二和第二MgF₂层三的厚度依次递增，第一MgF₂层一、第一MgF₂层二和第一MgF₂层三的厚度依次减小。

为了兼顾近红外到中红外宽带增透膜的增透性能和附着力，从第二YF₃层到第二MgF₂层三，各层的物理厚度依次为23±2nm、75±2nm、30±2nm、27±2nm、37±2nm、20±2nm、233±2nm；从第一YF₃层到第一MgF₂层一，各层的物理厚度依次为23±2nm、75±2nm、30±2nm、27±2nm、37±2nm、20±2nm、233±2nm。基底层的厚度为3-20mm。