[实用新型]一种以硫系红外玻璃为基底的增透DLC膜有效
| 申请号： | 201720849441.8 | 申请日： | 2017-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN206916217U | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 李全民;吴玉堂;朱敏;黄胜弟;王国力 | 申请（专利权）人： | 南京波长光电科技股份有限公司;南京光研软件系统有限公司 |
| 主分类号： | C23C28/04 | 分类号： | C23C28/04;C23C14/46;C23C14/06 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司32112 | 代理人： | 李建芳 |
| 地址： | 211123 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 红外 玻璃 基底 dlc | ||
1.一种以硫系红外玻璃为基底的增透DLC膜，其特征在于：包括硫系红外玻璃基底层、DLC膜层、以及设在硫系红外玻璃基底层和DLC膜层之间的粘结层，粘结层包括相互交替的ZnSe层和Ge层，ZnSe层有2-5层。
2.如权利要求1所述的以硫系红外玻璃为基底的增透DLC膜，其特征在于：以硫系红外玻璃为基底的增透DLC膜的增透波段为8-12微米。
3.如权利要求1或2所述的以硫系红外玻璃为基底的增透DLC膜，其特征在于：红外玻璃基底层与ZnSe层相邻；Ge层与DLC膜层相邻。
4.如权利要求3所述的以硫系红外玻璃为基底的增透DLC膜，其特征在于：包括顺序相接的硫系红外玻璃基底层、第一ZnSe层、第一Ge层、第二ZnSe层、第二Ge层、第三ZnSe层、第三Ge层和DLC膜层。
5.如权利要求4所述的以硫系红外玻璃为基底的增透DLC膜，其特征在于：第一ZnSe层、第二ZnSe层和第三ZnSe层的厚度依次递减。
6.如权利要求5所述的以硫系红外玻璃为基底的增透DLC膜，其特征在于：从第一ZnSe层到DLC膜层，各层的物理厚度依次为400±5nm、242±5nm、246±5nm、177±5nm、180±5nm、400±5nm和1285±5nm；硫系红外玻璃基底层的厚度为2-10mm。
7.如权利要求6所述的以硫系红外玻璃为基底的增透DLC膜，其特征在于：包括ZnS层、第一YF3层、第一ZnSe层、第二YF3层、第二ZnSe层、硫系红外玻璃基底层、第一ZnSe层、第一Ge层、第二ZnSe层、第二Ge层、第三ZnSe层、第三Ge层和DLC膜层，其中，ZnS层的厚度为200±5nm、第一YF3层的厚度为1046±5nm、第一ZnSe层的厚度为296±5nm、第二YF3层的厚度为105±5nm、第二ZnSe层的厚度为865±5nm。
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