[实用新型]一种测量甲烷透过率的装置

权利要求书

1.一种测量甲烷透过率的装置，主要包括氦气微漏装置(1)、储气罐(2)、气压计(3)、阀I(4)、阀II(5)、闸板阀(6)、传样腔(7)、传样杆(8)、气动阀(9)、高压区域(10)、样品(11)、样品架(12)、测试区域(13)、质谱(14)、测试腔(15)、真空泵(16)及气管，所述高压区域(10)、样品(11)、样品架(12)、测试区域(13)均位于所述测试腔(15)内，所述样品架(12)安装到测试腔(15)时能够将所述测试腔(15)隔开为所述高压区域(10)和所述测试区域(13)，所述样品架(12)中心具有贯穿的开口，当样品架(12)安装到测试腔(15)时，所述开口为所述高压区域(10)和所述测试区域(13)之间唯一的气路，所述测试区域(13)外端安装有所述质谱(14)，所述质谱(14)入口在所述测试区域(13)内，所述样品(11)用真空胶粘于所述样品架(12)上位于所述高压区域(10)的一面、且完全覆盖所述样品架(12)中心的开口，所述传样腔(7)通过所述气动阀(9)连接所述测试腔(15)，所述传样腔(7)具有所述传样杆(8)、且能够将所述样品架(12)在所述传样腔(7)和测试腔(15)之间传输，所述测试腔(15)连接有所述真空泵(16)；所述储气罐(2)中储存有甲烷气体，所述氦气微漏装置(1)和储气罐(2)出口处均具有阀门，所述氦气微漏装置(1)和储气罐(2)通过气管相连、且该段气管相连处具有所述气压计(3)，然后经气管分别连接气路I和气路II，再气管连接于所述测试腔(15)的所述高压区域(10)，所述气路I上依次连有所述阀II(5)、闸板阀(6)，所述气路II上具有所述阀I(4)，

其特征是：所述氦气微漏装置(1)在一定温度下氦气的漏率是可控的，并已经过校准，所述高压区域(10)和所述测试区域(13)内均安装有残余气体分析仪，用于测量气体分压；所述闸板阀(6)内部具有多块挡板，不同挡板上各具有一个不同尺寸的孔，能够在不破坏真空环境的条件下，用所述不同的挡板阻挡装置中气路，以改变气路的横截面积，使得对于不同的气体，在不同的气压条件下气流都能达到稳定，提高测量精度。

2.根据权利要求1所述的一种测量甲烷透过率的装置，其特征是：所述闸板阀(6)内部挡板上的孔的直径30微米至150微米。

3.根据权利要求1所述的一种测量甲烷透过率的装置，其特征是：所述质谱(14)入口到样品(11)的距离为20毫米至50毫米。

4.根据权利要求1所述的一种测量甲烷透过率的装置，其特征是：所述质谱(14)入口为毛细管形状、且长度5毫米至30毫米，内径0.3毫米至1毫米。

5.根据权利要求1所述的一种测量甲烷透过率的装置，其特征是：所述样品架(12)中心的开口形状是直径1毫米至5毫米的圆形。

6.根据权利要求1所述的一种测量甲烷透过率的装置，其特征是：所述样品架(12)中心的开口形状是边长1毫米至3毫米的正方形。

7.根据权利要求1所述的一种测量甲烷透过率的装置，其特征是：所述样品(11)的厚度为200微米至2毫米。

8.根据权利要求1所述的一种测量甲烷透过率的装置，其特征是：所述样品架(12)与测试腔(15)的密封结构是橡胶圈密封。

9.根据权利要求1所述的一种测量甲烷透过率的装置，其特征是：所述样品架(12)与测试腔(15)的密封结构是铜圈密封。