[实用新型]一体化全自动同轴微观三维形貌测量装置

权利要求书

1.一体化全自动同轴微观三维形貌测量装置，其特征在于：所述装置包括：准直滤波单元、共光路微分干涉单元、自动移相单元、全自动控制单元、图像采集单元；其中，准直滤波单元包括：依次设置于第一光轴上的LED光源、聚焦透镜、针孔滤波器、准直透镜、硬膜干涉滤光片、起偏器以及可调光阑，将所述准直滤波单元封装为一个模块，在装置中不需要后续的光路调节，封装后光路不会受到外界环境的干扰；所述共光路微分干涉单元包括：依次设置于第二光轴上的消偏振分光棱镜、双折射单轴石英晶体、显微物镜和被测样品；自动移相单元包括：依次设置于第二光轴上的1/4波片、检偏器，所述检偏器安装在电控旋转台上，所述1/4波片靠近所述消偏振分光棱；所述第一光轴与第二光轴通过所述消偏振分光棱镜垂直连接；所述图像采集单元包括：成像镜头、工业相机；全自动控制单元主要由三轴控制器，精密电控二维平移台，电控旋转台、三维形貌重构软件构成；计算机与工业相机和三轴控制器相连，所述三轴控制器与精密电控二维平移台以及电控旋转台相连，通过计算机控制，实现被测样品的二维移动、干涉图采集、样品形貌恢复。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：精密升降台固定在精密电控二维平移台上，被测样品置于所述精密升降台上。