[实用新型]一种带相位光栅和背面金反射层的超导单光子探测器

权利要求书

1.一种带相位光栅和背面金反射层的超导单光子探测器，其特征在于，包括硅基衬底(1)、金反射层(2)、中间层(3)、电极(4)、氮化铌纳米线(5)、相位光栅(6)和栅台(7)，所述硅基衬底(1)上设有金反射层(2)，所述金反射层(2)上设有中间层(3)，所述中间层(3)上设有氮化铌纳米线(5)，形成纳米线区，所述氮化铌纳米线(5)的两端设有电极(4)，所述氮化铌纳米线(5)上设有相位光栅(6)，所述相位光栅(6)上设有栅台(7)；所述金反射层(2)的厚度大于100nm。

2.根据权利要求1所述的带相位光栅和背面金反射层的超导单光子探测器，其特征在于，所述栅台(7)的高H为其中，λ为入射光波长，n₁为相位光栅材料折射率，n₂为相位光栅外介质的折射率，n为正整数；所述相位光栅(6)的厚度D满足其中λ为入射光波长，n₁为金反射层材料折射率，n为正整数；所述中间层(3)的厚度L满足其中，λ为入射光波长，n₁为金反射层材料折射率，n为正整数。

3.根据权利要求1或2所述的带相位光栅和背面金反射层的超导单光子探测器，其特征在于，所述中间层(3)和相位光栅(6)由二氧化硅材料制成。