[实用新型]一种电荷调制器加速度计电容检测装置

权利要求书

1.一种电荷调制器加速度计电容检测装置，其特征在于，所述装置包括：

敏感结构电容模块、载波发生模块、基础电容补偿模块、输入共模补偿模块、开关电容积分器模块、一位的数模转换模块、加法器模块、后端数字处理与补偿模块、数字处理与补偿参数调整模块、电路串行输出模块；输入共模补偿模块包括：输入共模补偿+、输入共模补偿-；一位的数模转换模块包括：D/A1和D/A2；加法器模块包括：add1、add2、add3、add4；其中，敏感结构电容模块的检测端口Vst连接加法器add1的输入正端口，另一检测端Vsb连接加法器模块add2的输入正端口；开关电容积分器模块中的多个开关电容积分器连接成开关电容Sigma-Delta调制器；基础电容补偿模块连接在Vst端与Vsb端之间；输入共模补偿+的输入为Sigma Delta调制器结构的中间级输出C，输出连接到加法器add3的输入正端口；输入共模补偿-的输入为Sigma Delta调制器结构的中间级输出D，输出连接到加法器add4的输入正端口；C连接Sigma Delta调制器结构中第一级开关电容积分器的正输出端，D连接Sigma Delta调制器结构中第一级开关电容积分器的负输出端口；载波发生模块连接到敏感结构电容模块的Vctr端；D/A1的输入为调制器数字输出流，输出连接到加法器add3的输入正端口，D/A2的输入为调制器数字输出流，输出连接到加法器add4的输入正端口；加法器add3的输出连接到add1输入负端口，加法器add4的输出连接到add2输入负端口；加法器add1的输出连接到Sigma-Delta调制器的输入A，加法器add2的输出连接到Sigma-Delta调制器的输入B；A连接Sigma Delta调制器结构中第一级开关电容积分器的负输入，B连接Sigma Delta调制器结构第一级开关电容积分器的正输入端；后端数字处理与补偿模块的输入为一位的数模转换模块的数字输出流，输出送入到电路串行输出模块，将数字结果传送出去。

2.根据权利要求1所述的电荷调制器加速度计电容检测装置，其特征在于，敏感结构电容模块用于将外界加速度信号转换为电容的变化量；载波发生模块用于产生方波信号对加速度计敏感结构电容进行充放电；基础电容补偿模块用于补偿加速度计敏感结构的基础电容；输入共模补偿模块用于检测第一级开关电容积分器输出共模量并反馈到开关电容积分器；开关电容积分器模块用于对输入差值进行积分；一位的数模转换模块用于将调制器的数字输出转换为电压反馈到第一级开关电容积分器，加法器模块用于完成电荷的加减运算；后端数字处理与补偿模块用于对一位的数字输出流做数字处理与补偿；数字处理与补偿参数调整模块用于对数字处理与补偿电路进行参数调试；电路串行输出模块用于将装置的检测结果串行输出。