[实用新型]一种多晶氧化物柔性薄膜晶体管有效
| 申请号： | 201720865188.5 | 申请日： | 2017-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN207038532U | 公开（公告）日： | 2018-02-23 |
| 发明（设计）人： | 宁洪龙;曾勇;姚日晖;郑泽科;章红科;刘贤哲;李晓庆;张啸尘;王磊;彭俊彪 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336;H01L29/22 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司44245 | 代理人： | 罗啸秋 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 氧化物 柔性 薄膜晶体管 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶氧化物柔性薄膜晶体管，由依次层叠的硬质衬底、柔性衬底、栅极、栅极绝缘层、有源层和源/漏电极构成，其特征在于：所述有源层具有诱导层和多晶氧化物半导体层的双层结构，其中诱导层位于栅极绝缘层一侧。
2.根据权利要求1所述的一种多晶氧化物柔性薄膜晶体管，其特征在于：所述多晶氧化物半导体层上还设置一层钝化层。
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