[实用新型]一种带真空封装的材料热稳定性测试设备

权利要求书

1.一种带真空封装的材料热稳定性测试设备，其特征在于，包括

真空封装系统(1)；

真空加热系统(2)；

抽真空系统(3)，通过第一真空管路与所述真空封装系统(1)连接，通过第二真空管路与所述真空加热系统(2)连接；

真空系统阀组，包括设置在所述第一真空管路上的第一阀(4)和设置在所述第二真空管路上的第二阀(5)。

2.根据权利要求1所述的材料热稳定性测试设备，其特征在于，所述真空加热系统(2)包括真空腔室(21)和至少一个加热炉(22)，所述至少一个加热炉(22)设置在所述真空腔室(21)内。

3.根据权利要求2所述的材料热稳定性测试设备，其特征在于，所述加热炉(22)设置为多个。

4.根据权利要求3所述的带真空封装的材料热稳定性测试设备，其特征在于，所述加热炉(22)为中空的环形结构，包括内层的加热层(221)和外层的隔热层(222)。

5.根据权利要求4所述的材料热稳定性测试设备，其特征在于，所述加热炉(22)还包括设于所述隔热层(222)外层的隔热套(223)，所述隔热套(223)为中空结构，内部通冷却介质。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的带真空封装的材料热稳定性测试设备，其特征在于，所述抽真空系统包括机械泵(31)和分子泵(32)，分子泵(32)的入口连接至第一真空管路和第二真空管路交汇处的管口，分子泵(32)的出口连接至机械泵(31)的入口。

7.根据权利要求1所述的带真空封装的材料热稳定性测试设备，其特征在于，所述真空系统阀组还包括封装真空管路旁通管口(8)，位于第一阀(4)与真空封装系统(1)之间的真空管路上，连接至机械泵(31)的入口，用于在加热封装前对待封装的玻璃试管(12)进行预抽。

8.根据权利要求7所述的带真空封装的材料热稳定性测试设备，其特征在于，所述封装真空管路旁通管口(8)上设有调节阀(9)，用于对待封装的玻璃试管(12)进行预抽时，调节抽真空气体流量。

9.根据权利要求3-5任一所述的带真空封装的材料热稳定性测试设备，其特征在于，所述真空系统阀组还包括第一放气阀(6)和第二放气阀(7)，分别位于所述第一真空管路和所述第二真空管路上，用于当待封装的玻璃试管(12)封装完毕以及加热测试完毕时，平衡真空封装系统(1)的内外部压力以及真空腔室(21)的内外部压力。

10.根据权利要求1所述的带真空封装的材料热稳定性测试设备，其特征在于，所述真空封装系统(1)包括封离炉(11)，用于对待封装的玻璃试管(12)进行抽真空封装。