[实用新型]一种硅片批量吸取装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空吸取技术领域，特别涉及一种硅片批量吸取装置。

背景技术

在太阳能硅片工艺处理步骤中，需要先进行插片步骤，即将多片硅片相互间隔地放置在石墨支架上，然后进行工艺处理，再将工艺处理完后的硅片从支架内取出(取片步骤)以备后续的工艺操作。在现有技术中，仍采用由人工操作的生产方式，生产效率受到一定限制，同时硅片容易在插片及取片过程中受到不同程度的污染及划伤，影响产品质量。

针对上述问题催生出一批硅片吸取装置，但是现有的硅片吸取装置存在以下几个问题：首先，硅片吸盘具有一定弹性，容易在长期反复使用过程中受到吸盘夹具的影响使得相邻硅片吸盘的细缝变小，进而会划伤硅片表面；硅片吸盘在组装过程中由于装配零件的相互干涉，导致相邻硅片吸盘的细缝变大，影响硅片吸取的稳定性，同时由于待吸取的硅片细缝固定，相邻硅片吸盘的细缝变大后导致硅片在插入至硅片组中时，容易导致硅片吸盘对硅片的压力变大从而划伤或压碎硅片，影响成品率，提高了生产成本。有鉴于此，实有必要开发一种硅片批量吸取装置，用以解决上述问题。

实用新型内容

针对现有技术中存在的不足之处，本实用新型的目的是提供一种硅片批量吸取装置，可实现自动插取硅片过程中的批量硅片吸取，同时能消除长期使用过程中硅片吸盘细缝减小导致的硅片划伤，以及减少装配过程中硅片细缝变大导致的硅片划伤或压碎硅片，提高了生产效率的同时提高了成品率。

为了实现根据本实用新型的上述目的和其他优点，提供了一种硅片批量吸取装置，包括：

吸取组件；以及

用于将吸取组件锁紧固定的紧固组件，

其中，吸取组件由若干片彼此紧贴的硅片吸盘层叠而成，紧固组件包括分别设在吸取组件左右两端的左安装板与右安装板，以及设于左安装板与右安装板之间的连接杆，吸取组件穿套于连接杆之上并由左安装板与右安装板锁紧固定。

优选的是，硅片吸盘包括：

与硅片相接触的吸取部；以及

与吸取部一体成型的根部，

其中，吸取部与硅片相接触面上开设有至少两个吸嘴，硅片吸盘的内部开设有通往根部并连通外界的气路，气路与吸嘴相连通。

优选的是，根部的厚度大于吸取部的厚度，吸取部关于根部偏置设置从而当相邻两片硅片吸盘紧贴时两者的吸取部之间形成有用于容纳硅片的细缝。

优选的是，细缝的厚度大于硅片的厚度。

优选的是，假定细缝的厚度为H，硅片的厚度为h，则有h<H≤2h。

优选的是，气路的出口设于根部的端部，且气路的出口处设有沿硅片吸盘的长度伸展方向凸起的气管安装部。

优选的是，气管安装部关于硅片吸盘的纵向中心线偏置设置。

优选的是，相邻两片硅片吸盘上的气管安装部非同侧设置从而当相邻两片硅片吸盘紧贴时两者的气管安装部不接触。

优选的是，硅片吸盘由陶瓷材料制成。

本实用新型与现有技术相比，其有益效果是：

1、由于细缝的厚度H与硅片的厚度h满足h<H≤2h，从而使得吸取时一方面细缝不至于太窄从而划伤硅片表面，另一方便细缝不至于太宽导致硅片离吸嘴太远而无法及时吸取；

2、由于相邻两片硅片吸盘上的气管安装部非同侧设置从而当相邻两片硅片吸盘紧贴时两者的气管安装部不接触，使得气管安装部的两侧有足够的空间便于气管接头的安装；

3、由于硅片吸盘由陶瓷材料制成，使得硅片吸盘的弹性很低，从而该吸取装置不会在长期使用过程中由于弹性变形导致细缝变窄，能够进一步防止硅片表面划伤。

附图说明

图1为根据本实用新型所述的硅片批量吸取装置的立体图；

图2为根据本实用新型所述的硅片批量吸取装置的爆炸图；

图3为根据本实用新型所述的硅片批量吸取装置的主视图；

图4为根据本实用新型所述的硅片批量吸取装置中硅片吸盘的立体图；

图5为根据本实用新型所述的硅片批量吸取装置中硅片吸盘的主视图；

图6为根据本实用新型所述的硅片批量吸取装置中硅片吸盘的右视图；

图7为图5中沿A-A方向的剖视图；

图8为根据本实用新型所述的硅片批量吸取装置中吸取组件的部分爆炸图。

具体实施方式