[实用新型]一种具有自动缓存功能的硅片装片机

权利要求书

1.一种具有自动缓存功能的硅片装片机，其特征在于：包括机架，所述机架上安装有硅片输送皮带、硅片缓存装置、花篮提升装置、满花篮输送皮带、空花篮输送皮带和触摸屏控制器，所述花篮提升装置设置在中间，所述硅片输送皮带和满花篮输送皮带分设于所述花篮提升装置的两侧，所述硅片缓存装置包括硅片缓存盒，所述硅片缓存盒为前后贯通设置，所述硅片缓存盒中穿设有所述硅片输送皮带，所述空花篮输送皮带设置在所述满花篮输送皮带的下方；所述触摸屏控制器电连接所述硅片输送皮带、硅片缓存装置、花篮提升装置、满花篮输送皮带和空花篮输送皮带。

2.根据权利要求1所述的一种具有自动缓存功能的硅片装片机，其特征在于：所述硅片缓存装置还包括传送机构，所述传送机构包括竖直设置的第一直线模组和安装在所述直线模组底端的第一伺服电机，所述第一直线模组上活动安装有第一滑块，所述第一滑块上安装有缓存盒支撑架，所述缓存盒支撑架上安装有所述硅片缓存盒；所述第一伺服电机连接安装有传感器；所述第一伺服电机与所述触摸屏控制器电连接。

3.根据权利要求1所述的一种具有自动缓存功能的硅片装片机，其特征在于：所述花篮提升装置包括升降构件和平移构件，所述升降构件包括升降台、第二直线模组和第二伺服电机，所述第二直线模组上活动安装有第二滑块，所述升降台安装在所述第二滑块上，所述第二伺服电机安装在所述第二直线模组的顶端，所述第二伺服电机与所述触摸屏控制器电连接；

所述平移构件包括花篮支架、输送皮带和第一步进电机，所述花篮支架安装在所述升降台上，所述输送皮带安装在所述花篮支架内，所述第一步进电机安装在所述花篮支架的底部，所述第一步进电机通过第一步进电机皮带与所述输送皮带相连；所述花篮支架的顶部安装有花篮压紧组件；所述第一步进电机与所述触摸屏控制器电连接。

4.根据权利要求3所述的一种具有自动缓存功能的硅片装片机，其特征在于：所述花篮压紧组件包括压紧板，所述压紧板上安装有压紧气缸，所述压紧气缸与所述花篮支架的顶部相连。

5.根据权利要求1所述的一种具有自动缓存功能的硅片装片机，其特征在于：所述花篮提升装置外罩设有保护罩。

6.根据权利要求1所述的一种具有自动缓存功能的硅片装片机，其特征在于：所述硅片输送皮带连接有第二步进电机，所述第二步进电机与所述触摸屏控制器电连接。

7.根据权利要求1所述的一种具有自动缓存功能的硅片装片机，其特征在于：所述满花篮输送皮带连接有第三步进电机，所述第三步进电机与所述触摸屏控制器电连接。

8.根据权利要求1所述的一种具有自动缓存功能的硅片装片机，其特征在于：所述空花篮输送皮带连接有第四步进电机，所述第四步进电机与所述触摸屏控制器电连接。