[实用新型]反射式光纤微位移传感测量实验装置

权利要求书

1.一种反射式光纤微位移传感测量实验装置，其特征在于：包括光源、出射光纤、入射光纤、第一三维位移平台、第二三维位移平台、光功率计和反射镜，所述光源与出射光纤连接，光源的出射光进入所述出射光纤，所述入射光纤与光功率计连接，所述光功率计测量入射光纤接收的光的功率，所述出射光纤和入射光纤分别固定于所述第一三维位移平台和第二三维位移平台上，所述第一三维位移平台和第二三维位移平台设置于所述反射镜的同侧，所述出射光纤和入射光纤处于同一高度，出射光纤和入射光纤的端面处于同一平面内且平行于反射镜，所述入射光纤用于接收由所述反射镜反射的经过所述出射光纤的出射光。

2.根据权利要求1所述的反射式光纤微位移传感测量实验装置，其特征在于：所述第一三维位移平台和第二三维位移平台设有螺旋测微仪，所述螺旋测微仪用于测量第一三维位移平台和第二三维位移平台的三轴位移量。

3.根据权利要求1所述的反射式光纤微位移传感测量实验装置，其特征在于：所述第一三维位移平台和第二三维位移平台设有移动台，所述移动台设有凹槽，所述出射光纤固定于所述第一三维位移平台的凹槽，所述入射光纤固定于所述第二三维位移平台的凹槽。

4.根据权利要求3所述的反射式光纤微位移传感测量实验装置，其特征在于：所述凹槽平行于第一三维位移平台和第二三维位移平台的三个移动轴之一。

5.根据权利要求1所述的反射式光纤微位移传感测量实验装置，其特征在于：包括光学平台，所述第一三维位移平台和第二三维位移平台固定安装于所述光学平台。

6.根据权利要求1所述的反射式光纤微位移传感测量实验装置，其特征在于：所述光源为激光光源。