[实用新型]工业化化学水浴法沉积薄膜的反应药液加热装置

权利要求书

1.工业化化学水浴法沉积薄膜的反应药液加热装置，它包括一配套用于反应设备（1）的加热系统（2）；所述的反应设备（1）主要由反应槽（102）和置于反应槽（102）上部的反应槽上盖（101）组成，其特征在于所述的反应槽上盖通过内设于反应槽上部的反应槽托板（103）安置在反应槽（102）上部；

所述加热系统包含若干数量的加热板（202）、吹扫气体装置（203）、阻挡条（201），其中加热板（202）固定在反应槽上盖的下表面并被置于反应槽内，所述的吹扫气体装置设置在加热板（202）周边；所述的阻挡条（201）有多条并设置在反应槽内。

2.根据权利要求1所述的工业化化学水浴法沉积薄膜的反应药液加热装置，其特征在于所述的反应设备（1）还配置有一由反应液混药箱（301）、反应液抽水泵（302）和循环管道（303）构成的药液循环系统；所述的反应液混药箱（301）经反应液抽水泵（302）、通过循环管道（303）连通于反应槽（102）中；

所述的加热板（202）由发热装置和安装外壳固定连接而成；所述加热板（202）周边布置的吹扫气体装置（203）由若干均匀布置的、分别连通外接压力气源的喷口构成。

3.根据权利要求1或2所述的工业化化学水浴法沉积薄膜的反应药液加热装置，其特征在于所述的反应槽（102）入口高度高于出口高度，所述反应槽（102）深度为0.5-5cm；所述反应槽（102）内安装的阻挡条（201）布置成与反应药液垂直流向之间的夹角为45度至90度；所述加热板（202）的发热装置包括红外线加热板、铠装加热板、灯管加热板中的任意一种。

4.根据权利要求3所述的工业化化学水浴法沉积薄膜的反应药液加热装置，其特征在于所述的阻挡条（201）材质为金属、石墨、合金的一种；所述反应槽（102）的宽度比衬底宽度窄，且所述衬底搭在反应槽两侧、由衬底正面与反应液接触进行单层镀膜；所述加热板（202）与衬底上表面距离为10-500mm。