[实用新型]一种硅棒生产用夹具

说明书

本实用新型提供了一种硅棒生产用夹具，包括四爪卡盘结构，该四爪卡盘结构包括一圆形卡盘及设置在该圆形卡盘上的四个卡爪，每一个所述卡爪夹紧侧面设有弹性防护层。本实用新型所述的一种硅棒生产用夹具，通过在卡爪夹紧面设置弹性防护层，使得卡爪夹紧硅棒时进行了缓冲，减少硅棒崩损的发生概率，对硅棒起到很好保护作用。

技术领域

本实用新型属于硅片制造领域，尤其是涉及一种硅棒生产用夹具。

背景技术

现硅棒制造部砂浆一期滚磨工序使用的定位四爪卡盘(用来对所加工硅棒进行夹正加工)进行单晶硅棒加工时，接触处因爪盘材质较硬,单晶表面较脆，易造成单晶崩损，造成原料损耗。

发明内容

有鉴于此，本实用新型旨在提出一种硅棒生产用夹具，以解决现有硅棒夹紧生产时因夹爪硬度过大造成的硅棒损害问题。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种硅棒生产用夹具，包括四爪卡盘结构，该四爪卡盘结构包括一圆形卡盘及设置在该圆形卡盘上的四个卡爪，每一个所述卡爪夹紧侧面设有弹性防护层。

进一步的，所述弹性防护层为橡胶防护层或塑料防护层。

进一步的，所述弹性防护层和卡爪热熔连接。

进一步的，每一个所述卡爪夹紧侧面为内凹的弧面，且每一个弧面的中心线和圆形卡盘中心线重合。

进一步的，所述弹性防护层厚度为1.5-2.5mm。

相对于现有技术，本实用新型所述的一种硅棒生产用夹具具有以下优势：

本实用新型所述的一种硅棒生产用夹具，通过在卡爪夹紧面设置弹性防护层，使得卡爪夹紧硅棒时进行了缓冲，减少硅棒崩损的发生概率，对硅棒起到很好保护作用。

附图说明

构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型实施例所述的一种硅棒生产用夹具结构示意图；

附图标记说明：

1-圆形卡盘；2-卡爪；3-弹性防护层。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。